Abstract

Here we demonstrate a spectrally broadband, gigahertz-fast Mach–Zehnder interferometric modulator exhibiting a miniscule ${{\rm V}_\pi }{\rm L}$ of $95\;{\rm V} \cdot \unicode{x00B5}{\rm m}$, deploying a subwavelength short electrostatically tunable plasmonic phase shifter based on heterogeneously integrated indium tin oxide thin films into silicon photonics.

© 2020 Optical Society of America under the terms of the OSA Open Access Publishing Agreement

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Heterogeneous silicon nitride photonics

Hyundai Park, Chong Zhang, Minh A. Tran, and Tin Komljenovic
Optica 7(4) 336-337 (2020)

Large-area, high-numerical-aperture multi-level diffractive lens via inverse design

Monjurul Meem, Sourangsu Banerji, Christian Pies, Timo Oberbiermann, Apratim Majumder, Berardi Sensale-Rodriguez, and Rajesh Menon
Optica 7(3) 252-253 (2020)

Narrow-linewidth III-V/Si/Si3N4 laser using multilayer heterogeneous integration

Chao Xiang, Warren Jin, Joel Guo, Jonathan D. Peters, M. J. Kennedy, Jennifer Selvidge, Paul A. Morton, and John E. Bowers
Optica 7(1) 20-21 (2020)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. V. J. Sorger, N. D. Lanzillotti- Kimura, R. Ma, and X. Zhang, Nanophotonics 1, 17 (2012).
    [Crossref]
  2. R. Amin, R. Maiti, C. Carfano, Z. Ma, M. H. Tahersima, Y. Lilach, D. Ratnayake, H. Dalir, and V. J. Sorger, APL Photon. 3, 126104 (2018).
    [Crossref]
  3. E. Li, Q. Gao, S. Liverman, and A. X. Wang, Opt. Lett. 43, 4429 (2018).
    [Crossref]
  4. R. Amin, C. Suer, Z. Ma, I. Sarpkaya, J. B. Khurgin, R. Agarwal, and V. J. Sorger, Nanophotonics 7, 455 (2017).
    [Crossref]
  5. Y. Gui, M. Miscuglio, Z. Ma, M. H. Tahersima, S. Sun, R. Amin, H. Dalir, and V. J. Sorger, Sci. Rep. 9, 11279 (2019).
    [Crossref]
  6. R. Amin, R. Maiti, J. K. George, X. Ma, Z. Ma, H. Dalir, M. Miscuglio, and V. J. Sorger, J. Lightwave Technol. 38, 282 (2020).
    [Crossref]
  7. N. Kinsey and J. B. Khurgin, Opt. Mater. Express 9, 2793 (2019).
    [Crossref]
  8. C. Wang, M. Zhang, X. Chen, M. Bertrand, A. Shams-Ansari, S. Chandrasekhar, P. Winzer, and M. Lončar, Nature 562, 101 (2018).
    [Crossref]
  9. M. Thomaschewski, V. A. Zenin, C. Wolff, and S. I. Bozhevolnyi, Nat. Commun. 11, 748 (2020).
    [Crossref]
  10. M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
    [Crossref]
  11. S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
    [Crossref]
  12. C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
    [Crossref]

2020 (2)

2019 (3)

N. Kinsey and J. B. Khurgin, Opt. Mater. Express 9, 2793 (2019).
[Crossref]

Y. Gui, M. Miscuglio, Z. Ma, M. H. Tahersima, S. Sun, R. Amin, H. Dalir, and V. J. Sorger, Sci. Rep. 9, 11279 (2019).
[Crossref]

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

2018 (4)

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

R. Amin, R. Maiti, C. Carfano, Z. Ma, M. H. Tahersima, Y. Lilach, D. Ratnayake, H. Dalir, and V. J. Sorger, APL Photon. 3, 126104 (2018).
[Crossref]

E. Li, Q. Gao, S. Liverman, and A. X. Wang, Opt. Lett. 43, 4429 (2018).
[Crossref]

C. Wang, M. Zhang, X. Chen, M. Bertrand, A. Shams-Ansari, S. Chandrasekhar, P. Winzer, and M. Lončar, Nature 562, 101 (2018).
[Crossref]

2017 (2)

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

R. Amin, C. Suer, Z. Ma, I. Sarpkaya, J. B. Khurgin, R. Agarwal, and V. J. Sorger, Nanophotonics 7, 455 (2017).
[Crossref]

2012 (1)

V. J. Sorger, N. D. Lanzillotti- Kimura, R. Ma, and X. Zhang, Nanophotonics 1, 17 (2012).
[Crossref]

Abel, S.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Agarwal, R.

R. Amin, C. Suer, Z. Ma, I. Sarpkaya, J. B. Khurgin, R. Agarwal, and V. J. Sorger, Nanophotonics 7, 455 (2017).
[Crossref]

Amin, R.

R. Amin, R. Maiti, J. K. George, X. Ma, Z. Ma, H. Dalir, M. Miscuglio, and V. J. Sorger, J. Lightwave Technol. 38, 282 (2020).
[Crossref]

Y. Gui, M. Miscuglio, Z. Ma, M. H. Tahersima, S. Sun, R. Amin, H. Dalir, and V. J. Sorger, Sci. Rep. 9, 11279 (2019).
[Crossref]

R. Amin, R. Maiti, C. Carfano, Z. Ma, M. H. Tahersima, Y. Lilach, D. Ratnayake, H. Dalir, and V. J. Sorger, APL Photon. 3, 126104 (2018).
[Crossref]

R. Amin, C. Suer, Z. Ma, I. Sarpkaya, J. B. Khurgin, R. Agarwal, and V. J. Sorger, Nanophotonics 7, 455 (2017).
[Crossref]

Ayata, M.

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Baeuerle, B.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Bertrand, M.

C. Wang, M. Zhang, X. Chen, M. Bertrand, A. Shams-Ansari, S. Chandrasekhar, P. Winzer, and M. Lončar, Nature 562, 101 (2018).
[Crossref]

Boltasseva, A.

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

Bozhevolnyi, S. I.

M. Thomaschewski, V. A. Zenin, C. Wolff, and S. I. Bozhevolnyi, Nat. Commun. 11, 748 (2020).
[Crossref]

Caimi, D.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Carfano, C.

R. Amin, R. Maiti, C. Carfano, Z. Ma, M. H. Tahersima, Y. Lilach, D. Ratnayake, H. Dalir, and V. J. Sorger, APL Photon. 3, 126104 (2018).
[Crossref]

Castera, P.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Chandrasekhar, S.

C. Wang, M. Zhang, X. Chen, M. Bertrand, A. Shams-Ansari, S. Chandrasekhar, P. Winzer, and M. Lončar, Nature 562, 101 (2018).
[Crossref]

Chelladurai, D.

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

Chen, X.

C. Wang, M. Zhang, X. Chen, M. Bertrand, A. Shams-Ansari, S. Chandrasekhar, P. Winzer, and M. Lončar, Nature 562, 101 (2018).
[Crossref]

Cheng, B.

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

Cui, T.

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

Czornomaz, L.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Dalir, H.

R. Amin, R. Maiti, J. K. George, X. Ma, Z. Ma, H. Dalir, M. Miscuglio, and V. J. Sorger, J. Lightwave Technol. 38, 282 (2020).
[Crossref]

Y. Gui, M. Miscuglio, Z. Ma, M. H. Tahersima, S. Sun, R. Amin, H. Dalir, and V. J. Sorger, Sci. Rep. 9, 11279 (2019).
[Crossref]

R. Amin, R. Maiti, C. Carfano, Z. Ma, M. H. Tahersima, Y. Lilach, D. Ratnayake, H. Dalir, and V. J. Sorger, APL Photon. 3, 126104 (2018).
[Crossref]

Dalton, L. R.

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Demkov, A. A.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Elder, D. L.

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Eltes, F.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Fedoryshyn, Y.

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Fompeyrine, J.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Gao, Q.

George, J. K.

Gui, Y.

Y. Gui, M. Miscuglio, Z. Ma, M. H. Tahersima, S. Sun, R. Amin, H. Dalir, and V. J. Sorger, Sci. Rep. 9, 11279 (2019).
[Crossref]

Gutierrez, A. M.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Haffner, C.

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Heni, W.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Hoessbacher, C.

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Josten, A.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Khurgin, J. B.

N. Kinsey and J. B. Khurgin, Opt. Mater. Express 9, 2793 (2019).
[Crossref]

R. Amin, C. Suer, Z. Ma, I. Sarpkaya, J. B. Khurgin, R. Agarwal, and V. J. Sorger, Nanophotonics 7, 455 (2017).
[Crossref]

Kinsey, N.

N. Kinsey and J. B. Khurgin, Opt. Mater. Express 9, 2793 (2019).
[Crossref]

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

Koch, U.

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Lanzillotti- Kimura, N. D.

V. J. Sorger, N. D. Lanzillotti- Kimura, R. Ma, and X. Zhang, Nanophotonics 1, 17 (2012).
[Crossref]

Leuthold, J.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Li, E.

Lilach, Y.

R. Amin, R. Maiti, C. Carfano, Z. Ma, M. H. Tahersima, Y. Lilach, D. Ratnayake, H. Dalir, and V. J. Sorger, APL Photon. 3, 126104 (2018).
[Crossref]

Liverman, S.

Loncar, M.

C. Wang, M. Zhang, X. Chen, M. Bertrand, A. Shams-Ansari, S. Chandrasekhar, P. Winzer, and M. Lončar, Nature 562, 101 (2018).
[Crossref]

Ma, P.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Ma, R.

V. J. Sorger, N. D. Lanzillotti- Kimura, R. Ma, and X. Zhang, Nanophotonics 1, 17 (2012).
[Crossref]

Ma, X.

Ma, Z.

R. Amin, R. Maiti, J. K. George, X. Ma, Z. Ma, H. Dalir, M. Miscuglio, and V. J. Sorger, J. Lightwave Technol. 38, 282 (2020).
[Crossref]

Y. Gui, M. Miscuglio, Z. Ma, M. H. Tahersima, S. Sun, R. Amin, H. Dalir, and V. J. Sorger, Sci. Rep. 9, 11279 (2019).
[Crossref]

R. Amin, R. Maiti, C. Carfano, Z. Ma, M. H. Tahersima, Y. Lilach, D. Ratnayake, H. Dalir, and V. J. Sorger, APL Photon. 3, 126104 (2018).
[Crossref]

R. Amin, C. Suer, Z. Ma, I. Sarpkaya, J. B. Khurgin, R. Agarwal, and V. J. Sorger, Nanophotonics 7, 455 (2017).
[Crossref]

Maiti, R.

R. Amin, R. Maiti, J. K. George, X. Ma, Z. Ma, H. Dalir, M. Miscuglio, and V. J. Sorger, J. Lightwave Technol. 38, 282 (2020).
[Crossref]

R. Amin, R. Maiti, C. Carfano, Z. Ma, M. H. Tahersima, Y. Lilach, D. Ratnayake, H. Dalir, and V. J. Sorger, APL Photon. 3, 126104 (2018).
[Crossref]

Messner, A.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Miscuglio, M.

R. Amin, R. Maiti, J. K. George, X. Ma, Z. Ma, H. Dalir, M. Miscuglio, and V. J. Sorger, J. Lightwave Technol. 38, 282 (2020).
[Crossref]

Y. Gui, M. Miscuglio, Z. Ma, M. H. Tahersima, S. Sun, R. Amin, H. Dalir, and V. J. Sorger, Sci. Rep. 9, 11279 (2019).
[Crossref]

Ortmann, J. E.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Ratnayake, D.

R. Amin, R. Maiti, C. Carfano, Z. Ma, M. H. Tahersima, Y. Lilach, D. Ratnayake, H. Dalir, and V. J. Sorger, APL Photon. 3, 126104 (2018).
[Crossref]

Rosa, A.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Saha, S.

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

Salamin, Y.

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Sanchis, P.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Sarpkaya, I.

R. Amin, C. Suer, Z. Ma, I. Sarpkaya, J. B. Khurgin, R. Agarwal, and V. J. Sorger, Nanophotonics 7, 455 (2017).
[Crossref]

Shalaev, V. M.

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

Shams-Ansari, A.

C. Wang, M. Zhang, X. Chen, M. Bertrand, A. Shams-Ansari, S. Chandrasekhar, P. Winzer, and M. Lončar, Nature 562, 101 (2018).
[Crossref]

Sorger, V. J.

R. Amin, R. Maiti, J. K. George, X. Ma, Z. Ma, H. Dalir, M. Miscuglio, and V. J. Sorger, J. Lightwave Technol. 38, 282 (2020).
[Crossref]

Y. Gui, M. Miscuglio, Z. Ma, M. H. Tahersima, S. Sun, R. Amin, H. Dalir, and V. J. Sorger, Sci. Rep. 9, 11279 (2019).
[Crossref]

R. Amin, R. Maiti, C. Carfano, Z. Ma, M. H. Tahersima, Y. Lilach, D. Ratnayake, H. Dalir, and V. J. Sorger, APL Photon. 3, 126104 (2018).
[Crossref]

R. Amin, C. Suer, Z. Ma, I. Sarpkaya, J. B. Khurgin, R. Agarwal, and V. J. Sorger, Nanophotonics 7, 455 (2017).
[Crossref]

V. J. Sorger, N. D. Lanzillotti- Kimura, R. Ma, and X. Zhang, Nanophotonics 1, 17 (2012).
[Crossref]

Suer, C.

R. Amin, C. Suer, Z. Ma, I. Sarpkaya, J. B. Khurgin, R. Agarwal, and V. J. Sorger, Nanophotonics 7, 455 (2017).
[Crossref]

Sun, S.

Y. Gui, M. Miscuglio, Z. Ma, M. H. Tahersima, S. Sun, R. Amin, H. Dalir, and V. J. Sorger, Sci. Rep. 9, 11279 (2019).
[Crossref]

Tahersima, M. H.

Y. Gui, M. Miscuglio, Z. Ma, M. H. Tahersima, S. Sun, R. Amin, H. Dalir, and V. J. Sorger, Sci. Rep. 9, 11279 (2019).
[Crossref]

R. Amin, R. Maiti, C. Carfano, Z. Ma, M. H. Tahersima, Y. Lilach, D. Ratnayake, H. Dalir, and V. J. Sorger, APL Photon. 3, 126104 (2018).
[Crossref]

Thomaschewski, M.

M. Thomaschewski, V. A. Zenin, C. Wolff, and S. I. Bozhevolnyi, Nat. Commun. 11, 748 (2020).
[Crossref]

Tulli, D.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Urbonas, D.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Wagner, T.

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Wang, A. X.

Wang, C.

C. Wang, M. Zhang, X. Chen, M. Bertrand, A. Shams-Ansari, S. Chandrasekhar, P. Winzer, and M. Lončar, Nature 562, 101 (2018).
[Crossref]

Watanabe, T.

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

Winzer, P.

C. Wang, M. Zhang, X. Chen, M. Bertrand, A. Shams-Ansari, S. Chandrasekhar, P. Winzer, and M. Lončar, Nature 562, 101 (2018).
[Crossref]

Wolff, C.

M. Thomaschewski, V. A. Zenin, C. Wolff, and S. I. Bozhevolnyi, Nat. Commun. 11, 748 (2020).
[Crossref]

Zahner, M.

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Zenin, V. A.

M. Thomaschewski, V. A. Zenin, C. Wolff, and S. I. Bozhevolnyi, Nat. Commun. 11, 748 (2020).
[Crossref]

Zhang, M.

C. Wang, M. Zhang, X. Chen, M. Bertrand, A. Shams-Ansari, S. Chandrasekhar, P. Winzer, and M. Lončar, Nature 562, 101 (2018).
[Crossref]

Zhang, X.

V. J. Sorger, N. D. Lanzillotti- Kimura, R. Ma, and X. Zhang, Nanophotonics 1, 17 (2012).
[Crossref]

APL Photon. (1)

R. Amin, R. Maiti, C. Carfano, Z. Ma, M. H. Tahersima, Y. Lilach, D. Ratnayake, H. Dalir, and V. J. Sorger, APL Photon. 3, 126104 (2018).
[Crossref]

J. Lightwave Technol. (1)

Nanophotonics (2)

R. Amin, C. Suer, Z. Ma, I. Sarpkaya, J. B. Khurgin, R. Agarwal, and V. J. Sorger, Nanophotonics 7, 455 (2017).
[Crossref]

V. J. Sorger, N. D. Lanzillotti- Kimura, R. Ma, and X. Zhang, Nanophotonics 1, 17 (2012).
[Crossref]

Nat. Commun. (1)

M. Thomaschewski, V. A. Zenin, C. Wolff, and S. I. Bozhevolnyi, Nat. Commun. 11, 748 (2020).
[Crossref]

Nat. Mater. (1)

S. Abel, F. Eltes, J. E. Ortmann, A. Messner, P. Castera, T. Wagner, D. Urbonas, A. Rosa, A. M. Gutierrez, D. Tulli, P. Ma, B. Baeuerle, A. Josten, W. Heni, D. Caimi, L. Czornomaz, A. A. Demkov, J. Leuthold, P. Sanchis, and J. Fompeyrine, Nat. Mater. 18, 42 (2019).
[Crossref]

Nature (2)

C. Haffner, D. Chelladurai, Y. Fedoryshyn, A. Josten, B. Baeuerle, W. Heni, T. Watanabe, T. Cui, B. Cheng, S. Saha, D. L. Elder, L. R. Dalton, A. Boltasseva, V. M. Shalaev, N. Kinsey, and J. Leuthold, Nature 556, 483 (2018).
[Crossref]

C. Wang, M. Zhang, X. Chen, M. Bertrand, A. Shams-Ansari, S. Chandrasekhar, P. Winzer, and M. Lončar, Nature 562, 101 (2018).
[Crossref]

Opt. Lett. (1)

Opt. Mater. Express (1)

Sci. Rep. (1)

Y. Gui, M. Miscuglio, Z. Ma, M. H. Tahersima, S. Sun, R. Amin, H. Dalir, and V. J. Sorger, Sci. Rep. 9, 11279 (2019).
[Crossref]

Science (1)

M. Ayata, Y. Fedoryshyn, W. Heni, B. Baeuerle, A. Josten, M. Zahner, U. Koch, Y. Salamin, C. Hoessbacher, C. Haffner, D. L. Elder, L. R. Dalton, and J. Leuthold, Science 358, 630 (2017).
[Crossref]

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (2)

Fig. 1.
Fig. 1. (a) Schematic of the broadband GHz plasmonic ITO-based Mach–Zehnder modulator; (b) active device region, ${L_d};$ ${t_{\rm Au}}={50}\;{\rm nm}$ , ${t_{\rm ox}}={20}\;{\rm nm}$ , ${t_{\rm ITO}}={10}\;{\rm nm}$ , $w = {500}\;{\rm nm}$ , $h = {220}\;{\rm nm}$ ; corresponding FEM eigenmode profiles to light ON and OFF states (inset); (c) optical microscope image of the sub-λ ( ${L_d}={1.4}\;\unicode{x00B5}{\rm m}$ ) modulator.
Fig. 2.
Fig. 2. (a) Optical transmission exhibiting broadband performance of the modulator; (b) I-V measurements; (c) optical output modulation under DC bias for different device scaling, where dashed lines represent ${{\cos}^2}({\rm arg})$ fit dictated by Mach–Zehnder operating principle; (d) induced effective index change $\Delta {n_{\rm eff}}$ and (e) ITO material index change $\Delta {n_{\rm ITO}}$ from applied bias; (f) experimental speed setup; and (g) measured small-signal response ${{\rm S}_{21}}$ of the modulator.

Tables (1)

Tables Icon

Table 1. Comparison with Recent Art

Metrics