Abstract

Graphene photodetectors can have broadband operation and a large bandwidth, but they usually suffer from a large dark current when biased. To solve this problem, we demonstrate van der Waals heterostructure tunneling photodiodes integrated on silicon nitride waveguides. The heterostructure is made up of layers of molybdenum disulfide, graphene, boron nitride, and graphene from bottom to top. The bottom graphene is n-doped by molybdenum disulfide while the top graphene layer remains p-doped. Between the two graphene layers, multilayer boron nitride was employed as a tunneling barrier. At 1550nm, high on/off current ratios larger than 104 were measured in the dark. A responsivity of 0.24A/W and a bandwidth of 28 GHz (56 GHz by deconvolving response of experimental system) were also obtained.

© 2019 Optical Society of America under the terms of the OSA Open Access Publishing Agreement

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Nonlinear response of infrared photodetectors based on van der Waals heterostructures with graphene layers

Victor Ryzhii, Maxim Ryzhii, Dmitry Svintsov, Vladimir Leiman, Vladimir Mitin, Michael S. Shur, and Taiichi Otsuji
Opt. Express 25(5) 5536-5549 (2017)

Van der Waals materials integrated nanophotonic devices [Invited]

Chang-hua Liu, Jiajiu Zheng, Yueyang Chen, Taylor Fryett, and Arka Majumdar
Opt. Mater. Express 9(2) 384-399 (2019)

Q-switching of waveguide lasers based on graphene/WS2 van der Waals heterostructure

Ziqi Li, Chen Cheng, Ningning Dong, Carolina Romero, Qingming Lu, Jun Wang, Javier Rodríguez Vázquez de Aldana, Yang Tan, and Feng Chen
Photon. Res. 5(5) 406-410 (2017)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. M. Romagnoli, V. Sorianello, M. Midrio, F. H. L. Koppens, C. Huyghebaert, D. Neumaier, P. Galli, W. Templ, A. D’Errico, and A. C. Ferrari, Nat. Rev. Mater. 3, 392 (2018).
    [Crossref]
  2. Y. Liu, N. O. Weiss, X. Duan, H.-C. Cheng, Y. Huang, and X. Duan, Nat. Rev. Mater. 1, 16042 (2016).
    [Crossref]
  3. C.-H. Liu, Y.-C. Chang, T. B. Norris, and Z. Zhong, Nat. Nanotechnol. 9, 273 (2014).
    [Crossref]
  4. D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
    [Crossref]
  5. R.-J. Shiue, Y. Gao, Y. Wang, C. Peng, A. D. Robertson, D. K. Efetov, S. Assefa, F. H. L. Koppens, J. Hone, and D. Englund, Nano Lett. 15, 7288 (2015).
    [Crossref]
  6. S. Schuler, D. Schall, D. Neumaier, L. Dobusch, O. Bethge, B. Schwarz, M. Krall, and T. Mueller, Nano Lett. 16, 7107 (2016).
    [Crossref]
  7. Y. Gao, L. Tao, H. K. Tsang, and C. Shu, Appl. Phys. Lett. 112, 211107 (2018).
    [Crossref]
  8. Y. Gao, G. Zhou, N. Zhao, H. K. Tsang, and C. Shu, Opt. Lett. 43, 1399 (2018).
    [Crossref]
  9. D. Schall, E. Pallecchi, G. Ducournau, V. Avramovic, M. Otto, and D. Neumaier, “Record high bandwidth integrated graphene photodetectors for communication beyond 180 Gb/s,” in Optical Fiber Communication Conference, San Diego, California (Optical Society of America, 2018), paper M2I.4.
  10. Y. Gao, H. K. Tsang, and C. Shu, Nanoscale 10, 21851 (2018).
    [Crossref]
  11. F. Xia, D. B. Farmer, Y.-M. Lin, and P. Avouris, Nano Lett. 10, 715(2010).
    [Crossref]
  12. P. Rani and V. K. Jindal, RSC Adv. 3, 802 (2013).
    [Crossref]
  13. N. Youngblood, C. Chen, S. J. Koester, and M. Li, Nat. Photonics 9, 247 (2015).
    [Crossref]
  14. Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
    [Crossref]
  15. L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
    [Crossref]
  16. F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
    [Crossref]
  17. H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
    [Crossref]
  18. Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
    [Crossref]
  19. L. Tao, Z. Chen, X. Li, K. Yan, and J.-B. Xu, 2D Mater. Appl. 1, 19 (2017).
    [Crossref]
  20. W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
    [Crossref]
  21. M. J. Park, J. K. Min, S.-G. Yi, J. H. Kim, J. Oh, and K.-H. Yoo, J. Appl. Phys. 118, 044504 (2015).
    [Crossref]
  22. X. Gan, R.-J. Shiue, Y. Gao, I. Meric, T. F. Heinz, K. Shepard, J. Hone, S. Assefa, and D. Englund, Nat. Photonics 7, 883 (2013).
    [Crossref]
  23. C. Chi On, A. K. Okyay, and K. C. Saraswat, IEEE Photon. Technol. Lett. 15, 1585 (2003).
    [Crossref]
  24. J. Gaskell, L. Eaves, K. S. Novoselov, A. Mishchenko, A. K. Geim, T. M. Fromhold, and M. T. Greenaway, Appl. Phys. Lett. 107, 103105 (2015).
    [Crossref]

2018 (4)

M. Romagnoli, V. Sorianello, M. Midrio, F. H. L. Koppens, C. Huyghebaert, D. Neumaier, P. Galli, W. Templ, A. D’Errico, and A. C. Ferrari, Nat. Rev. Mater. 3, 392 (2018).
[Crossref]

Y. Gao, L. Tao, H. K. Tsang, and C. Shu, Appl. Phys. Lett. 112, 211107 (2018).
[Crossref]

Y. Gao, G. Zhou, N. Zhao, H. K. Tsang, and C. Shu, Opt. Lett. 43, 1399 (2018).
[Crossref]

Y. Gao, H. K. Tsang, and C. Shu, Nanoscale 10, 21851 (2018).
[Crossref]

2017 (2)

Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
[Crossref]

L. Tao, Z. Chen, X. Li, K. Yan, and J.-B. Xu, 2D Mater. Appl. 1, 19 (2017).
[Crossref]

2016 (4)

Y. Liu, N. O. Weiss, X. Duan, H.-C. Cheng, Y. Huang, and X. Duan, Nat. Rev. Mater. 1, 16042 (2016).
[Crossref]

S. Schuler, D. Schall, D. Neumaier, L. Dobusch, O. Bethge, B. Schwarz, M. Krall, and T. Mueller, Nano Lett. 16, 7107 (2016).
[Crossref]

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

2015 (5)

F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
[Crossref]

R.-J. Shiue, Y. Gao, Y. Wang, C. Peng, A. D. Robertson, D. K. Efetov, S. Assefa, F. H. L. Koppens, J. Hone, and D. Englund, Nano Lett. 15, 7288 (2015).
[Crossref]

N. Youngblood, C. Chen, S. J. Koester, and M. Li, Nat. Photonics 9, 247 (2015).
[Crossref]

M. J. Park, J. K. Min, S.-G. Yi, J. H. Kim, J. Oh, and K.-H. Yoo, J. Appl. Phys. 118, 044504 (2015).
[Crossref]

J. Gaskell, L. Eaves, K. S. Novoselov, A. Mishchenko, A. K. Geim, T. M. Fromhold, and M. T. Greenaway, Appl. Phys. Lett. 107, 103105 (2015).
[Crossref]

2014 (3)

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

C.-H. Liu, Y.-C. Chang, T. B. Norris, and Z. Zhong, Nat. Nanotechnol. 9, 273 (2014).
[Crossref]

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

2013 (2)

P. Rani and V. K. Jindal, RSC Adv. 3, 802 (2013).
[Crossref]

X. Gan, R.-J. Shiue, Y. Gao, I. Meric, T. F. Heinz, K. Shepard, J. Hone, S. Assefa, and D. Englund, Nat. Photonics 7, 883 (2013).
[Crossref]

2012 (1)

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

2010 (1)

F. Xia, D. B. Farmer, Y.-M. Lin, and P. Avouris, Nano Lett. 10, 715(2010).
[Crossref]

2003 (1)

C. Chi On, A. K. Okyay, and K. C. Saraswat, IEEE Photon. Technol. Lett. 15, 1585 (2003).
[Crossref]

An, S.-J.

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

Assefa, S.

R.-J. Shiue, Y. Gao, Y. Wang, C. Peng, A. D. Robertson, D. K. Efetov, S. Assefa, F. H. L. Koppens, J. Hone, and D. Englund, Nano Lett. 15, 7288 (2015).
[Crossref]

X. Gan, R.-J. Shiue, Y. Gao, I. Meric, T. F. Heinz, K. Shepard, J. Hone, S. Assefa, and D. Englund, Nat. Photonics 7, 883 (2013).
[Crossref]

Avouris, P.

F. Xia, D. B. Farmer, Y.-M. Lin, and P. Avouris, Nano Lett. 10, 715(2010).
[Crossref]

Avramovic, V.

D. Schall, E. Pallecchi, G. Ducournau, V. Avramovic, M. Otto, and D. Neumaier, “Record high bandwidth integrated graphene photodetectors for communication beyond 180 Gb/s,” in Optical Fiber Communication Conference, San Diego, California (Optical Society of America, 2018), paper M2I.4.

Bang, S.

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

Belle, B. D.

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Bethge, O.

S. Schuler, D. Schall, D. Neumaier, L. Dobusch, O. Bethge, B. Schwarz, M. Krall, and T. Mueller, Nano Lett. 16, 7107 (2016).
[Crossref]

Bliznakov, S.

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

Bolten, J.

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

Britnell, L.

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Chang, Y.-C.

C.-H. Liu, Y.-C. Chang, T. B. Norris, and Z. Zhong, Nat. Nanotechnol. 9, 273 (2014).
[Crossref]

Chang, Y.-H.

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

Chen, C.

N. Youngblood, C. Chen, S. J. Koester, and M. Li, Nat. Photonics 9, 247 (2015).
[Crossref]

Chen, C.-H.

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

Chen, X.

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

Chen, Y.-Z.

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

Chen, Z.

L. Tao, Z. Chen, X. Li, K. Yan, and J.-B. Xu, 2D Mater. Appl. 1, 19 (2017).
[Crossref]

Cheng, H.-C.

Y. Liu, N. O. Weiss, X. Duan, H.-C. Cheng, Y. Huang, and X. Duan, Nat. Rev. Mater. 1, 16042 (2016).
[Crossref]

Chi On, C.

C. Chi On, A. K. Okyay, and K. C. Saraswat, IEEE Photon. Technol. Lett. 15, 1585 (2003).
[Crossref]

Chmielak, B.

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

Chou, M.-Y.

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

Chueh, Y.-L.

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

Chuu, C.-P.

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

D’Errico, A.

M. Romagnoli, V. Sorianello, M. Midrio, F. H. L. Koppens, C. Huyghebaert, D. Neumaier, P. Galli, W. Templ, A. D’Errico, and A. C. Ferrari, Nat. Rev. Mater. 3, 392 (2018).
[Crossref]

Decker, J.

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

Del Pozo-Zamudio, O.

F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
[Crossref]

Dobusch, L.

S. Schuler, D. Schall, D. Neumaier, L. Dobusch, O. Bethge, B. Schwarz, M. Krall, and T. Mueller, Nano Lett. 16, 7107 (2016).
[Crossref]

Duan, X.

Y. Liu, N. O. Weiss, X. Duan, H.-C. Cheng, Y. Huang, and X. Duan, Nat. Rev. Mater. 1, 16042 (2016).
[Crossref]

Y. Liu, N. O. Weiss, X. Duan, H.-C. Cheng, Y. Huang, and X. Duan, Nat. Rev. Mater. 1, 16042 (2016).
[Crossref]

Ducournau, G.

D. Schall, E. Pallecchi, G. Ducournau, V. Avramovic, M. Otto, and D. Neumaier, “Record high bandwidth integrated graphene photodetectors for communication beyond 180 Gb/s,” in Optical Fiber Communication Conference, San Diego, California (Optical Society of America, 2018), paper M2I.4.

Eaves, L.

J. Gaskell, L. Eaves, K. S. Novoselov, A. Mishchenko, A. K. Geim, T. M. Fromhold, and M. T. Greenaway, Appl. Phys. Lett. 107, 103105 (2015).
[Crossref]

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Efetov, D. K.

R.-J. Shiue, Y. Gao, Y. Wang, C. Peng, A. D. Robertson, D. K. Efetov, S. Assefa, F. H. L. Koppens, J. Hone, and D. Englund, Nano Lett. 15, 7288 (2015).
[Crossref]

Englund, D.

R.-J. Shiue, Y. Gao, Y. Wang, C. Peng, A. D. Robertson, D. K. Efetov, S. Assefa, F. H. L. Koppens, J. Hone, and D. Englund, Nano Lett. 15, 7288 (2015).
[Crossref]

X. Gan, R.-J. Shiue, Y. Gao, I. Meric, T. F. Heinz, K. Shepard, J. Hone, S. Assefa, and D. Englund, Nat. Photonics 7, 883 (2013).
[Crossref]

Farmer, D. B.

F. Xia, D. B. Farmer, Y.-M. Lin, and P. Avouris, Nano Lett. 10, 715(2010).
[Crossref]

Ferrari, A. C.

M. Romagnoli, V. Sorianello, M. Midrio, F. H. L. Koppens, C. Huyghebaert, D. Neumaier, P. Galli, W. Templ, A. D’Errico, and A. C. Ferrari, Nat. Rev. Mater. 3, 392 (2018).
[Crossref]

Fromhold, T. M.

J. Gaskell, L. Eaves, K. S. Novoselov, A. Mishchenko, A. K. Geim, T. M. Fromhold, and M. T. Greenaway, Appl. Phys. Lett. 107, 103105 (2015).
[Crossref]

Galli, P.

M. Romagnoli, V. Sorianello, M. Midrio, F. H. L. Koppens, C. Huyghebaert, D. Neumaier, P. Galli, W. Templ, A. D’Errico, and A. C. Ferrari, Nat. Rev. Mater. 3, 392 (2018).
[Crossref]

Gan, X.

X. Gan, R.-J. Shiue, Y. Gao, I. Meric, T. F. Heinz, K. Shepard, J. Hone, S. Assefa, and D. Englund, Nat. Photonics 7, 883 (2013).
[Crossref]

Gao, Y.

Y. Gao, H. K. Tsang, and C. Shu, Nanoscale 10, 21851 (2018).
[Crossref]

Y. Gao, L. Tao, H. K. Tsang, and C. Shu, Appl. Phys. Lett. 112, 211107 (2018).
[Crossref]

Y. Gao, G. Zhou, N. Zhao, H. K. Tsang, and C. Shu, Opt. Lett. 43, 1399 (2018).
[Crossref]

R.-J. Shiue, Y. Gao, Y. Wang, C. Peng, A. D. Robertson, D. K. Efetov, S. Assefa, F. H. L. Koppens, J. Hone, and D. Englund, Nano Lett. 15, 7288 (2015).
[Crossref]

X. Gan, R.-J. Shiue, Y. Gao, I. Meric, T. F. Heinz, K. Shepard, J. Hone, S. Assefa, and D. Englund, Nat. Photonics 7, 883 (2013).
[Crossref]

Gaskell, J.

J. Gaskell, L. Eaves, K. S. Novoselov, A. Mishchenko, A. K. Geim, T. M. Fromhold, and M. T. Greenaway, Appl. Phys. Lett. 107, 103105 (2015).
[Crossref]

Geim, A. K.

J. Gaskell, L. Eaves, K. S. Novoselov, A. Mishchenko, A. K. Geim, T. M. Fromhold, and M. T. Greenaway, Appl. Phys. Lett. 107, 103105 (2015).
[Crossref]

F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
[Crossref]

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Georgiou, T.

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Gholinia, A.

F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
[Crossref]

Giesecke, A. L.

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

Gorbachev, R. V.

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Greenaway, M. T.

J. Gaskell, L. Eaves, K. S. Novoselov, A. Mishchenko, A. K. Geim, T. M. Fromhold, and M. T. Greenaway, Appl. Phys. Lett. 107, 103105 (2015).
[Crossref]

Haigh, S. J.

F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
[Crossref]

Han, G. H.

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

He, J.-H.

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

He, K.

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

Heinz, T. F.

X. Gan, R.-J. Shiue, Y. Gao, I. Meric, T. F. Heinz, K. Shepard, J. Hone, S. Assefa, and D. Englund, Nat. Photonics 7, 883 (2013).
[Crossref]

Heo, J.

Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
[Crossref]

Hone, J.

R.-J. Shiue, Y. Gao, Y. Wang, C. Peng, A. D. Robertson, D. K. Efetov, S. Assefa, F. H. L. Koppens, J. Hone, and D. Englund, Nano Lett. 15, 7288 (2015).
[Crossref]

X. Gan, R.-J. Shiue, Y. Gao, I. Meric, T. F. Heinz, K. Shepard, J. Hone, S. Assefa, and D. Englund, Nat. Photonics 7, 883 (2013).
[Crossref]

Huang, J.-K.

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

Huang, Y.

Y. Liu, N. O. Weiss, X. Duan, H.-C. Cheng, Y. Huang, and X. Duan, Nat. Rev. Mater. 1, 16042 (2016).
[Crossref]

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

Huyghebaert, C.

M. Romagnoli, V. Sorianello, M. Midrio, F. H. L. Koppens, C. Huyghebaert, D. Neumaier, P. Galli, W. Templ, A. D’Errico, and A. C. Ferrari, Nat. Rev. Mater. 3, 392 (2018).
[Crossref]

Jalil, R.

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Jeong, H.

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

Jeong, H. J.

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

Jeong, M. S.

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

Ji, W.

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

Jindal, V. K.

P. Rani and V. K. Jindal, RSC Adv. 3, 802 (2013).
[Crossref]

Junginger, B.

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

Katsnelson, M. I.

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Kim, H.

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

Kim, J. H.

M. J. Park, J. K. Min, S.-G. Yi, J. H. Kim, J. Oh, and K.-H. Yoo, J. Appl. Phys. 118, 044504 (2015).
[Crossref]

Kim, K.

Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
[Crossref]

Kim, K. K.

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

Koester, S. J.

N. Youngblood, C. Chen, S. J. Koester, and M. Li, Nat. Photonics 9, 247 (2015).
[Crossref]

Koppens, F. H. L.

M. Romagnoli, V. Sorianello, M. Midrio, F. H. L. Koppens, C. Huyghebaert, D. Neumaier, P. Galli, W. Templ, A. D’Errico, and A. C. Ferrari, Nat. Rev. Mater. 3, 392 (2018).
[Crossref]

R.-J. Shiue, Y. Gao, Y. Wang, C. Peng, A. D. Robertson, D. K. Efetov, S. Assefa, F. H. L. Koppens, J. Hone, and D. Englund, Nano Lett. 15, 7288 (2015).
[Crossref]

Krall, M.

S. Schuler, D. Schall, D. Neumaier, L. Dobusch, O. Bethge, B. Schwarz, M. Krall, and T. Mueller, Nano Lett. 16, 7107 (2016).
[Crossref]

Kuebart, W.

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

Kurz, H.

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

Lee, J. H.

Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
[Crossref]

Lee, K.

Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
[Crossref]

Lee, Y. H.

Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
[Crossref]

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

Leist, J.

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Lerondel, G.

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

Li, L.-J.

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

Li, M.

N. Youngblood, C. Chen, S. J. Koester, and M. Li, Nat. Photonics 9, 247 (2015).
[Crossref]

Li, X.

L. Tao, Z. Chen, X. Li, K. Yan, and J.-B. Xu, 2D Mater. Appl. 1, 19 (2017).
[Crossref]

Liang, C.-T.

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

Lim, S. C.

Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
[Crossref]

Lin, Y.-M.

F. Xia, D. B. Farmer, Y.-M. Lin, and P. Avouris, Nano Lett. 10, 715(2010).
[Crossref]

Liu, C.-H.

C.-H. Liu, Y.-C. Chang, T. B. Norris, and Z. Zhong, Nat. Nanotechnol. 9, 273 (2014).
[Crossref]

Liu, Y.

Y. Liu, N. O. Weiss, X. Duan, H.-C. Cheng, Y. Huang, and X. Duan, Nat. Rev. Mater. 1, 16042 (2016).
[Crossref]

Luo, D.

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

Matheisen, C.

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

Meng, F.

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

Meric, I.

X. Gan, R.-J. Shiue, Y. Gao, I. Meric, T. F. Heinz, K. Shepard, J. Hone, S. Assefa, and D. Englund, Nat. Photonics 7, 883 (2013).
[Crossref]

Midrio, M.

M. Romagnoli, V. Sorianello, M. Midrio, F. H. L. Koppens, C. Huyghebaert, D. Neumaier, P. Galli, W. Templ, A. D’Errico, and A. C. Ferrari, Nat. Rev. Mater. 3, 392 (2018).
[Crossref]

Min, J. K.

M. J. Park, J. K. Min, S.-G. Yi, J. H. Kim, J. Oh, and K.-H. Yoo, J. Appl. Phys. 118, 044504 (2015).
[Crossref]

Mishchenko, A.

J. Gaskell, L. Eaves, K. S. Novoselov, A. Mishchenko, A. K. Geim, T. M. Fromhold, and M. T. Greenaway, Appl. Phys. Lett. 107, 103105 (2015).
[Crossref]

F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
[Crossref]

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Mohsin, M.

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

Morozov, S. V.

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Mueller, T.

S. Schuler, D. Schall, D. Neumaier, L. Dobusch, O. Bethge, B. Schwarz, M. Krall, and T. Mueller, Nano Lett. 16, 7107 (2016).
[Crossref]

Neumaier, D.

M. Romagnoli, V. Sorianello, M. Midrio, F. H. L. Koppens, C. Huyghebaert, D. Neumaier, P. Galli, W. Templ, A. D’Errico, and A. C. Ferrari, Nat. Rev. Mater. 3, 392 (2018).
[Crossref]

S. Schuler, D. Schall, D. Neumaier, L. Dobusch, O. Bethge, B. Schwarz, M. Krall, and T. Mueller, Nano Lett. 16, 7107 (2016).
[Crossref]

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

D. Schall, E. Pallecchi, G. Ducournau, V. Avramovic, M. Otto, and D. Neumaier, “Record high bandwidth integrated graphene photodetectors for communication beyond 180 Gb/s,” in Optical Fiber Communication Conference, San Diego, California (Optical Society of America, 2018), paper M2I.4.

Nguyen, V. L.

Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
[Crossref]

Norris, T. B.

C.-H. Liu, Y.-C. Chang, T. B. Norris, and Z. Zhong, Nat. Nanotechnol. 9, 273 (2014).
[Crossref]

Novoselov, K. S.

J. Gaskell, L. Eaves, K. S. Novoselov, A. Mishchenko, A. K. Geim, T. M. Fromhold, and M. T. Greenaway, Appl. Phys. Lett. 107, 103105 (2015).
[Crossref]

F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
[Crossref]

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Oh, H. M.

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

Oh, J.

M. J. Park, J. K. Min, S.-G. Yi, J. H. Kim, J. Oh, and K.-H. Yoo, J. Appl. Phys. 118, 044504 (2015).
[Crossref]

Okyay, A. K.

C. Chi On, A. K. Okyay, and K. C. Saraswat, IEEE Photon. Technol. Lett. 15, 1585 (2003).
[Crossref]

Otto, M.

D. Schall, E. Pallecchi, G. Ducournau, V. Avramovic, M. Otto, and D. Neumaier, “Record high bandwidth integrated graphene photodetectors for communication beyond 180 Gb/s,” in Optical Fiber Communication Conference, San Diego, California (Optical Society of America, 2018), paper M2I.4.

Pallecchi, E.

D. Schall, E. Pallecchi, G. Ducournau, V. Avramovic, M. Otto, and D. Neumaier, “Record high bandwidth integrated graphene photodetectors for communication beyond 180 Gb/s,” in Optical Fiber Communication Conference, San Diego, California (Optical Society of America, 2018), paper M2I.4.

Park, J. C.

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

Park, M. J.

M. J. Park, J. K. Min, S.-G. Yi, J. H. Kim, J. Oh, and K.-H. Yoo, J. Appl. Phys. 118, 044504 (2015).
[Crossref]

Park, S.

Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
[Crossref]

Peng, C.

R.-J. Shiue, Y. Gao, Y. Wang, C. Peng, A. D. Robertson, D. K. Efetov, S. Assefa, F. H. L. Koppens, J. Hone, and D. Englund, Nano Lett. 15, 7288 (2015).
[Crossref]

Peres, N. M. R.

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Ponomarenko, L. A.

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Porschatis, C.

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

Prinzen, A.

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

Qiao, J.

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

Rani, P.

P. Rani and V. K. Jindal, RSC Adv. 3, 802 (2013).
[Crossref]

Robertson, A. D.

R.-J. Shiue, Y. Gao, Y. Wang, C. Peng, A. D. Robertson, D. K. Efetov, S. Assefa, F. H. L. Koppens, J. Hone, and D. Englund, Nano Lett. 15, 7288 (2015).
[Crossref]

Romagnoli, M.

M. Romagnoli, V. Sorianello, M. Midrio, F. H. L. Koppens, C. Huyghebaert, D. Neumaier, P. Galli, W. Templ, A. D’Errico, and A. C. Ferrari, Nat. Rev. Mater. 3, 392 (2018).
[Crossref]

Rooney, A. P.

F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
[Crossref]

Ruoff, R. S.

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

Saraswat, K. C.

C. Chi On, A. K. Okyay, and K. C. Saraswat, IEEE Photon. Technol. Lett. 15, 1585 (2003).
[Crossref]

Schall, D.

S. Schuler, D. Schall, D. Neumaier, L. Dobusch, O. Bethge, B. Schwarz, M. Krall, and T. Mueller, Nano Lett. 16, 7107 (2016).
[Crossref]

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

D. Schall, E. Pallecchi, G. Ducournau, V. Avramovic, M. Otto, and D. Neumaier, “Record high bandwidth integrated graphene photodetectors for communication beyond 180 Gb/s,” in Optical Fiber Communication Conference, San Diego, California (Optical Society of America, 2018), paper M2I.4.

Schedin, F.

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Schuler, S.

S. Schuler, D. Schall, D. Neumaier, L. Dobusch, O. Bethge, B. Schwarz, M. Krall, and T. Mueller, Nano Lett. 16, 7107 (2016).
[Crossref]

Schwarz, B.

S. Schuler, D. Schall, D. Neumaier, L. Dobusch, O. Bethge, B. Schwarz, M. Krall, and T. Mueller, Nano Lett. 16, 7107 (2016).
[Crossref]

Shepard, K.

X. Gan, R.-J. Shiue, Y. Gao, I. Meric, T. F. Heinz, K. Shepard, J. Hone, S. Assefa, and D. Englund, Nat. Photonics 7, 883 (2013).
[Crossref]

Shin, Y. S.

Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
[Crossref]

Shiue, R.-J.

R.-J. Shiue, Y. Gao, Y. Wang, C. Peng, A. D. Robertson, D. K. Efetov, S. Assefa, F. H. L. Koppens, J. Hone, and D. Englund, Nano Lett. 15, 7288 (2015).
[Crossref]

X. Gan, R.-J. Shiue, Y. Gao, I. Meric, T. F. Heinz, K. Shepard, J. Hone, S. Assefa, and D. Englund, Nat. Photonics 7, 883 (2013).
[Crossref]

Shu, C.

Y. Gao, H. K. Tsang, and C. Shu, Nanoscale 10, 21851 (2018).
[Crossref]

Y. Gao, L. Tao, H. K. Tsang, and C. Shu, Appl. Phys. Lett. 112, 211107 (2018).
[Crossref]

Y. Gao, G. Zhou, N. Zhao, H. K. Tsang, and C. Shu, Opt. Lett. 43, 1399 (2018).
[Crossref]

Sorianello, V.

M. Romagnoli, V. Sorianello, M. Midrio, F. H. L. Koppens, C. Huyghebaert, D. Neumaier, P. Galli, W. Templ, A. D’Errico, and A. C. Ferrari, Nat. Rev. Mater. 3, 392 (2018).
[Crossref]

Su, D.

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

Sutter, E.

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

Sutter, P.

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

Taniguchi, T.

F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
[Crossref]

Tao, L.

Y. Gao, L. Tao, H. K. Tsang, and C. Shu, Appl. Phys. Lett. 112, 211107 (2018).
[Crossref]

L. Tao, Z. Chen, X. Li, K. Yan, and J.-B. Xu, 2D Mater. Appl. 1, 19 (2017).
[Crossref]

Tartakovskii, A. I.

F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
[Crossref]

Templ, W.

M. Romagnoli, V. Sorianello, M. Midrio, F. H. L. Koppens, C. Huyghebaert, D. Neumaier, P. Galli, W. Templ, A. D’Errico, and A. C. Ferrari, Nat. Rev. Mater. 3, 392 (2018).
[Crossref]

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

Tsai, M.-L.

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

Tsang, H. K.

Y. Gao, H. K. Tsang, and C. Shu, Nanoscale 10, 21851 (2018).
[Crossref]

Y. Gao, L. Tao, H. K. Tsang, and C. Shu, Appl. Phys. Lett. 112, 211107 (2018).
[Crossref]

Y. Gao, G. Zhou, N. Zhao, H. K. Tsang, and C. Shu, Opt. Lett. 43, 1399 (2018).
[Crossref]

Vu, Q. A.

Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
[Crossref]

Wang, Y.

R.-J. Shiue, Y. Gao, Y. Wang, C. Peng, A. D. Robertson, D. K. Efetov, S. Assefa, F. H. L. Koppens, J. Hone, and D. Englund, Nano Lett. 15, 7288 (2015).
[Crossref]

Watanabe, K.

F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
[Crossref]

Weiss, N. O.

Y. Liu, N. O. Weiss, X. Duan, H.-C. Cheng, Y. Huang, and X. Duan, Nat. Rev. Mater. 1, 16042 (2016).
[Crossref]

Withers, F.

F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
[Crossref]

Xia, F.

F. Xia, D. B. Farmer, Y.-M. Lin, and P. Avouris, Nano Lett. 10, 715(2010).
[Crossref]

Xu, J.-B.

L. Tao, Z. Chen, X. Li, K. Yan, and J.-B. Xu, 2D Mater. Appl. 1, 19 (2017).
[Crossref]

Yan, K.

L. Tao, Z. Chen, X. Li, K. Yan, and J.-B. Xu, 2D Mater. Appl. 1, 19 (2017).
[Crossref]

Yi, S.-G.

M. J. Park, J. K. Min, S.-G. Yi, J. H. Kim, J. Oh, and K.-H. Yoo, J. Appl. Phys. 118, 044504 (2015).
[Crossref]

Yoo, K.-H.

M. J. Park, J. K. Min, S.-G. Yi, J. H. Kim, J. Oh, and K.-H. Yoo, J. Appl. Phys. 118, 044504 (2015).
[Crossref]

Youngblood, N.

N. Youngblood, C. Chen, S. J. Koester, and M. Li, Nat. Photonics 9, 247 (2015).
[Crossref]

Yu, W. J.

Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
[Crossref]

Yun, S. J.

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

Zhang, W.

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

Zhao, N.

Zhong, Z.

C.-H. Liu, Y.-C. Chang, T. B. Norris, and Z. Zhong, Nat. Nanotechnol. 9, 273 (2014).
[Crossref]

Zhou, G.

2D Mater. Appl. (1)

L. Tao, Z. Chen, X. Li, K. Yan, and J.-B. Xu, 2D Mater. Appl. 1, 19 (2017).
[Crossref]

ACS Photon. (1)

D. Schall, D. Neumaier, M. Mohsin, B. Chmielak, J. Bolten, C. Porschatis, A. Prinzen, C. Matheisen, W. Kuebart, B. Junginger, W. Templ, A. L. Giesecke, and H. Kurz, ACS Photon. 1, 781 (2014).
[Crossref]

Appl. Phys. Lett. (2)

Y. Gao, L. Tao, H. K. Tsang, and C. Shu, Appl. Phys. Lett. 112, 211107 (2018).
[Crossref]

J. Gaskell, L. Eaves, K. S. Novoselov, A. Mishchenko, A. K. Geim, T. M. Fromhold, and M. T. Greenaway, Appl. Phys. Lett. 107, 103105 (2015).
[Crossref]

Chem. Mater. (1)

Y. Huang, J. Qiao, K. He, S. Bliznakov, E. Sutter, X. Chen, D. Luo, F. Meng, D. Su, J. Decker, W. Ji, R. S. Ruoff, and P. Sutter, Chem. Mater. 28, 8330 (2016).
[Crossref]

IEEE Photon. Technol. Lett. (1)

C. Chi On, A. K. Okyay, and K. C. Saraswat, IEEE Photon. Technol. Lett. 15, 1585 (2003).
[Crossref]

J. Appl. Phys. (1)

M. J. Park, J. K. Min, S.-G. Yi, J. H. Kim, J. Oh, and K.-H. Yoo, J. Appl. Phys. 118, 044504 (2015).
[Crossref]

Nano Lett. (5)

H. Jeong, H. M. Oh, S. Bang, H. J. Jeong, S.-J. An, G. H. Han, H. Kim, S. J. Yun, K. K. Kim, J. C. Park, Y. H. Lee, G. Lerondel, and M. S. Jeong, Nano Lett. 16, 1858 (2016).
[Crossref]

Q. A. Vu, J. H. Lee, V. L. Nguyen, Y. S. Shin, S. C. Lim, K. Lee, J. Heo, S. Park, K. Kim, Y. H. Lee, and W. J. Yu, Nano Lett. 17, 453 (2017).
[Crossref]

F. Xia, D. B. Farmer, Y.-M. Lin, and P. Avouris, Nano Lett. 10, 715(2010).
[Crossref]

R.-J. Shiue, Y. Gao, Y. Wang, C. Peng, A. D. Robertson, D. K. Efetov, S. Assefa, F. H. L. Koppens, J. Hone, and D. Englund, Nano Lett. 15, 7288 (2015).
[Crossref]

S. Schuler, D. Schall, D. Neumaier, L. Dobusch, O. Bethge, B. Schwarz, M. Krall, and T. Mueller, Nano Lett. 16, 7107 (2016).
[Crossref]

Nanoscale (1)

Y. Gao, H. K. Tsang, and C. Shu, Nanoscale 10, 21851 (2018).
[Crossref]

Nat. Mater. (1)

F. Withers, O. Del Pozo-Zamudio, A. Mishchenko, A. P. Rooney, A. Gholinia, K. Watanabe, T. Taniguchi, S. J. Haigh, A. K. Geim, A. I. Tartakovskii, and K. S. Novoselov, Nat. Mater. 14, 301 (2015).
[Crossref]

Nat. Nanotechnol. (1)

C.-H. Liu, Y.-C. Chang, T. B. Norris, and Z. Zhong, Nat. Nanotechnol. 9, 273 (2014).
[Crossref]

Nat. Photonics (2)

N. Youngblood, C. Chen, S. J. Koester, and M. Li, Nat. Photonics 9, 247 (2015).
[Crossref]

X. Gan, R.-J. Shiue, Y. Gao, I. Meric, T. F. Heinz, K. Shepard, J. Hone, S. Assefa, and D. Englund, Nat. Photonics 7, 883 (2013).
[Crossref]

Nat. Rev. Mater. (2)

M. Romagnoli, V. Sorianello, M. Midrio, F. H. L. Koppens, C. Huyghebaert, D. Neumaier, P. Galli, W. Templ, A. D’Errico, and A. C. Ferrari, Nat. Rev. Mater. 3, 392 (2018).
[Crossref]

Y. Liu, N. O. Weiss, X. Duan, H.-C. Cheng, Y. Huang, and X. Duan, Nat. Rev. Mater. 1, 16042 (2016).
[Crossref]

Opt. Lett. (1)

RSC Adv. (1)

P. Rani and V. K. Jindal, RSC Adv. 3, 802 (2013).
[Crossref]

Sci. Rep. (1)

W. Zhang, C.-P. Chuu, J.-K. Huang, C.-H. Chen, M.-L. Tsai, Y.-H. Chang, C.-T. Liang, Y.-Z. Chen, Y.-L. Chueh, J.-H. He, M.-Y. Chou, and L.-J. Li, Sci. Rep. 4, 3826 (2014).
[Crossref]

Science (1)

L. Britnell, R. V. Gorbachev, R. Jalil, B. D. Belle, F. Schedin, A. Mishchenko, T. Georgiou, M. I. Katsnelson, L. Eaves, S. V. Morozov, N. M. R. Peres, J. Leist, A. K. Geim, K. S. Novoselov, and L. A. Ponomarenko, Science 335, 947 (2012).
[Crossref]

Other (1)

D. Schall, E. Pallecchi, G. Ducournau, V. Avramovic, M. Otto, and D. Neumaier, “Record high bandwidth integrated graphene photodetectors for communication beyond 180 Gb/s,” in Optical Fiber Communication Conference, San Diego, California (Optical Society of America, 2018), paper M2I.4.

Supplementary Material (1)

NameDescription
» Supplement 1       supplementary document

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (5)

Fig. 1.
Fig. 1. Schematic of the device. (a) Schematic of a van der Waals heterostructure tunneling photodiode integrated on a Si 3 N 4 waveguide. (b) Raman spectrum of a fabricated tunneling photodiode. (c) Scanning electron microscope (SEM) image of a tunneling photodiode with a length of 100 μm. (d) Magnified SEM image of the boxed region in (c) showing the metal finger electrode.
Fig. 2.
Fig. 2. (a) Raman spectra of graphene with and without in contact with MoS 2 . (b) Raman spectra of MoS 2 with and without covered graphene.
Fig. 3.
Fig. 3. Band diagram of the tunneling photodiode (a) under forward bias (top graphene positively biased) and (b) under reverse bias (top graphene negatively biased).
Fig. 4.
Fig. 4. Measured (a) dark current, (b) photocurrent and responsivity, and (c) on/off current ratio and NPDR of a tunneling photodetector ( L = 100 μm ) as functions of the bias voltage.
Fig. 5.
Fig. 5. Temporal response recorded by a 50 GHz sampling oscilloscope. a.u., arbitrary units.

Metrics