Abstract

Single layer mirrors have been prepared by evaporating gold and iridium on silicon substrates. The samples have been exposed to 4 keV He + ion flux at different total fluences, simulating the effect of solar wind ions on optical coatings. We show that the ion implantation significantly affects the optical characteristics of the metallic films. The phenomena are explained and modeled also considering the related material modifications observed with chemical and morphological analysis.

© 2014 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
Radiation damage by light- and heavy-ion bombardment of single-crystal LiNbO3

Hsu-Cheng Huang, Lihua Zhang, Girish Malladi, Jerry I. Dadap, Sandeep Manandhar, Kim Kisslinger, Rama Sesha R Vemuri, Vaithiyalingam Shutthanandan, Hassaram Bakhru, and Richard M. Osgood
Opt. Mater. Express 5(5) 1071-1088 (2015)

Effect of microstructure on the optical properties of sputtered iridium thin films

Nicole A. Pfiester, Kevin A. Grossklaus, Margaret A. Stevens, and Thomas E. Vandervelde
Opt. Mater. Express 10(4) 1120-1128 (2020)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. E. Marsch, R. G. Marsden, R. A. Harrison, R. Wimmer-Schweingruber, and B. Fleck, “Solar Orbiter–mission profile, main goals and present status,” Adv. Space Res. 36(8), 1360–1366 (2005).
    [Crossref]
  2. E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
    [Crossref]
  3. S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
    [Crossref]
  4. A. Ziani, F. Delmotte, C. Le Paven-Thivet, E. Meltchakov, A. Jerome, M. Roulliay, F. Bridou, and K. Gasc, “Ion beam sputtered aluminum based multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar imaging,” Thin Solid Films 552, 62–67 (2014).
    [Crossref]
  5. ESA, “Solar Orbiter environmental specification - Issue 3.0,” (2010).
  6. A. D. Rousseau, D. L. Windt, B. Winter, L. Harra, H. Lamoureux, and F. Eriksson, “Stability of EUV multilayers to long-term heating, and to energetic protons and neutrons, for extreme solar missions,” Proc. SPIE 5900, 590004 (2005).
    [Crossref]
  7. G. Naletto, A. Boscolo, J. Wyss, and A. Quaranta, “Effects of proton irradiation on glass filter substrates for the Rosetta mission,” Appl. Opt. 42(19), 3970–3980 (2003).
    [Crossref] [PubMed]
  8. I. Di Sarcina, M. L. Grilli, F. Menchini, A. Piegari, S. Scaglione, A. Sytchkova, and D. Zola, “Behavior of optical thin-film materials and coatings under proton and gamma irradiation,” Appl. Opt. 53(4), A314–A320 (2014).
    [Crossref] [PubMed]
  9. M. Nardello, P. Zuppella, V. Polito, A. J. Corso, S. Zuccon, and M. G. Pelizzo, “Stability of EUV multilayer coatings to low energy alpha particles bombardment,” Opt. Express 21(23), 28334–28343 (2013).
    [Crossref] [PubMed]
  10. M. G. Pelizzo, A. J. Corso, P. Zuppella, D. L. Windt, G. Mattei, and P. Nicolosi, “Stability of extreme ultraviolet multilayer coatings to low energy proton bombardment,” Opt. Express 19(16), 14838–14844 (2011).
    [Crossref] [PubMed]
  11. A. S. Kuznetsov, M. A. Gleeson, and F. Bijkerk, “Ion effects in hydrogen-induced blistering of Mo/Si multilayers,” J. Appl. Phys. 114(11), 113507 (2013).
    [Crossref]
  12. A. S. Kuznetsov, M. A. Gleeson, and F. Bijkerk, “Hydrogen-induced blistering of Mo/Si multilayers: Uptake and distribution,” Thin Solid Films 545, 571–579 (2013).
    [Crossref]
  13. V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, G. Salmaso, V. Mattarello, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, L. Depero, E. Bontempi, and P. Mazzoldi, “Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications,” Surf. Coat. Tech. 174–175, 40–48 (2003).
    [Crossref]
  14. R. Livengood, S. Tan, Y. Greenzweig, J. Notte, and S. McVey, “Subsurface damage from helium ions as a function of dose, beam energy, and dose rate,” J. Vac. Sci. Technol. B: Microelectronics and Nanometer Structures 27(6), 3244 (2009).
    [Crossref]
  15. V. Ranieri, M. Saggio, and E. Rimini, “Voids in silicon by He implantation: From basic to applications,” J. Mater. Res. Vol 15(7), 1449–1477 (2000).
  16. J. F. Ziegler and J. P. Biersack, SRIM - The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon Press, 1985).
  17. V. Veligura, G. Hlawacek, R. P. Berkelaar, R. van Gastel, H. J. W. Zandvliet, and B. Poelsema, “Digging gold: keV He+ ion interaction with Au,” Beilstein J Nanotechnol 4, 453–460 (2013).
    [Crossref] [PubMed]
  18. P. Zuppella, G. Monaco, A. J. Corso, P. Nicolosi, D. L. Windt, V. Bello, G. Mattei, and M. G. Pelizzo, “Iridium/silicon multilayers for extreme ultraviolet applications in the 20-35 nm wavelength range,” Opt. Lett. 36(7), 1203–1205 (2011).
    [Crossref] [PubMed]
  19. G. Naletto, M. G. Pelizzo, G. Tondello, S. Nannarone, and A. Giglia, “The monochromator for the synchrotron radiation beamline X-MOSS at ELETTRA,” Proc. SPIE, Vol. 4145, p. 105 (2001).
    [Crossref]
  20. S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
    [Crossref]
  21. A. Benninghoven, F. G. Rüdenauer, and H. W. Werner, Secondary Ion Mass Spectrometry (Wiley, 1987).
  22. M. Seita, A. Reiser, and R. Spolenak, “Ion-induce grain growth and texturing in refractory thin films – A low temperature process,” Appl. Phys. Lett. 101(25), 251905 (2012).
    [Crossref]
  23. G. A. Niklasson, C. G. Granqvist, and O. Hunderi, “Effective medium models for the optical properties of inhomogeneous materials,” Appl. Opt. 20(1), 26–30 (1981).
    [Crossref] [PubMed]
  24. Handbook of Optical Constants of Solids, Edward D. Palik, ed. (Academic Press, Inc. 1985).

2014 (2)

A. Ziani, F. Delmotte, C. Le Paven-Thivet, E. Meltchakov, A. Jerome, M. Roulliay, F. Bridou, and K. Gasc, “Ion beam sputtered aluminum based multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar imaging,” Thin Solid Films 552, 62–67 (2014).
[Crossref]

I. Di Sarcina, M. L. Grilli, F. Menchini, A. Piegari, S. Scaglione, A. Sytchkova, and D. Zola, “Behavior of optical thin-film materials and coatings under proton and gamma irradiation,” Appl. Opt. 53(4), A314–A320 (2014).
[Crossref] [PubMed]

2013 (4)

M. Nardello, P. Zuppella, V. Polito, A. J. Corso, S. Zuccon, and M. G. Pelizzo, “Stability of EUV multilayer coatings to low energy alpha particles bombardment,” Opt. Express 21(23), 28334–28343 (2013).
[Crossref] [PubMed]

A. S. Kuznetsov, M. A. Gleeson, and F. Bijkerk, “Ion effects in hydrogen-induced blistering of Mo/Si multilayers,” J. Appl. Phys. 114(11), 113507 (2013).
[Crossref]

A. S. Kuznetsov, M. A. Gleeson, and F. Bijkerk, “Hydrogen-induced blistering of Mo/Si multilayers: Uptake and distribution,” Thin Solid Films 545, 571–579 (2013).
[Crossref]

V. Veligura, G. Hlawacek, R. P. Berkelaar, R. van Gastel, H. J. W. Zandvliet, and B. Poelsema, “Digging gold: keV He+ ion interaction with Au,” Beilstein J Nanotechnol 4, 453–460 (2013).
[Crossref] [PubMed]

2012 (3)

M. Seita, A. Reiser, and R. Spolenak, “Ion-induce grain growth and texturing in refractory thin films – A low temperature process,” Appl. Phys. Lett. 101(25), 251905 (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

2011 (2)

2009 (1)

R. Livengood, S. Tan, Y. Greenzweig, J. Notte, and S. McVey, “Subsurface damage from helium ions as a function of dose, beam energy, and dose rate,” J. Vac. Sci. Technol. B: Microelectronics and Nanometer Structures 27(6), 3244 (2009).
[Crossref]

2005 (2)

E. Marsch, R. G. Marsden, R. A. Harrison, R. Wimmer-Schweingruber, and B. Fleck, “Solar Orbiter–mission profile, main goals and present status,” Adv. Space Res. 36(8), 1360–1366 (2005).
[Crossref]

A. D. Rousseau, D. L. Windt, B. Winter, L. Harra, H. Lamoureux, and F. Eriksson, “Stability of EUV multilayers to long-term heating, and to energetic protons and neutrons, for extreme solar missions,” Proc. SPIE 5900, 590004 (2005).
[Crossref]

2004 (1)

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

2003 (2)

G. Naletto, A. Boscolo, J. Wyss, and A. Quaranta, “Effects of proton irradiation on glass filter substrates for the Rosetta mission,” Appl. Opt. 42(19), 3970–3980 (2003).
[Crossref] [PubMed]

V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, G. Salmaso, V. Mattarello, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, L. Depero, E. Bontempi, and P. Mazzoldi, “Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications,” Surf. Coat. Tech. 174–175, 40–48 (2003).
[Crossref]

2000 (1)

V. Ranieri, M. Saggio, and E. Rimini, “Voids in silicon by He implantation: From basic to applications,” J. Mater. Res. Vol 15(7), 1449–1477 (2000).

1981 (1)

Abbo, L.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Andretta, V.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Antonucci, E.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Auchère, F.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Bello, V.

Bemporad, A.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Berkelaar, R. P.

V. Veligura, G. Hlawacek, R. P. Berkelaar, R. van Gastel, H. J. W. Zandvliet, and B. Poelsema, “Digging gold: keV He+ ion interaction with Au,” Beilstein J Nanotechnol 4, 453–460 (2013).
[Crossref] [PubMed]

Berlicki, A.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Bijkerk, F.

A. S. Kuznetsov, M. A. Gleeson, and F. Bijkerk, “Ion effects in hydrogen-induced blistering of Mo/Si multilayers,” J. Appl. Phys. 114(11), 113507 (2013).
[Crossref]

A. S. Kuznetsov, M. A. Gleeson, and F. Bijkerk, “Hydrogen-induced blistering of Mo/Si multilayers: Uptake and distribution,” Thin Solid Films 545, 571–579 (2013).
[Crossref]

Bontempi, E.

V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, G. Salmaso, V. Mattarello, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, L. Depero, E. Bontempi, and P. Mazzoldi, “Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications,” Surf. Coat. Tech. 174–175, 40–48 (2003).
[Crossref]

Borgatti, F.

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

Boscolo, A.

Bridou, F.

A. Ziani, F. Delmotte, C. Le Paven-Thivet, E. Meltchakov, A. Jerome, M. Roulliay, F. Bridou, and K. Gasc, “Ion beam sputtered aluminum based multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar imaging,” Thin Solid Films 552, 62–67 (2014).
[Crossref]

Bruno, R.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Capobianco, G.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Ciaravella, A.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Corso, A. J.

Crescenzio, G.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

D’Amicis, R.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Da Deppo, V.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Delmotte, F.

A. Ziani, F. Delmotte, C. Le Paven-Thivet, E. Meltchakov, A. Jerome, M. Roulliay, F. Bridou, and K. Gasc, “Ion beam sputtered aluminum based multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar imaging,” Thin Solid Films 552, 62–67 (2014).
[Crossref]

DeLuisa, A.

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

Depero, L.

V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, G. Salmaso, V. Mattarello, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, L. Depero, E. Bontempi, and P. Mazzoldi, “Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications,” Surf. Coat. Tech. 174–175, 40–48 (2003).
[Crossref]

Di Sarcina, I.

Doyle, B. P.

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

Eriksson, F.

A. D. Rousseau, D. L. Windt, B. Winter, L. Harra, H. Lamoureux, and F. Eriksson, “Stability of EUV multilayers to long-term heating, and to energetic protons and neutrons, for extreme solar missions,” Proc. SPIE 5900, 590004 (2005).
[Crossref]

Fineschi, S.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Finetti, P.

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

Fleck, B.

E. Marsch, R. G. Marsden, R. A. Harrison, R. Wimmer-Schweingruber, and B. Fleck, “Solar Orbiter–mission profile, main goals and present status,” Adv. Space Res. 36(8), 1360–1366 (2005).
[Crossref]

Focardi, M.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Frassetto, F.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Gasc, K.

A. Ziani, F. Delmotte, C. Le Paven-Thivet, E. Meltchakov, A. Jerome, M. Roulliay, F. Bridou, and K. Gasc, “Ion beam sputtered aluminum based multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar imaging,” Thin Solid Films 552, 62–67 (2014).
[Crossref]

Gazzadi, G. C.

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

Giglia, A.

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

G. Naletto, M. G. Pelizzo, G. Tondello, S. Nannarone, and A. Giglia, “The monochromator for the synchrotron radiation beamline X-MOSS at ELETTRA,” Proc. SPIE, Vol. 4145, p. 105 (2001).
[Crossref]

Gleeson, M. A.

A. S. Kuznetsov, M. A. Gleeson, and F. Bijkerk, “Ion effects in hydrogen-induced blistering of Mo/Si multilayers,” J. Appl. Phys. 114(11), 113507 (2013).
[Crossref]

A. S. Kuznetsov, M. A. Gleeson, and F. Bijkerk, “Hydrogen-induced blistering of Mo/Si multilayers: Uptake and distribution,” Thin Solid Films 545, 571–579 (2013).
[Crossref]

Granqvist, C. G.

Greenzweig, Y.

R. Livengood, S. Tan, Y. Greenzweig, J. Notte, and S. McVey, “Subsurface damage from helium ions as a function of dose, beam energy, and dose rate,” J. Vac. Sci. Technol. B: Microelectronics and Nanometer Structures 27(6), 3244 (2009).
[Crossref]

Grilli, M. L.

Harra, L.

A. D. Rousseau, D. L. Windt, B. Winter, L. Harra, H. Lamoureux, and F. Eriksson, “Stability of EUV multilayers to long-term heating, and to energetic protons and neutrons, for extreme solar missions,” Proc. SPIE 5900, 590004 (2005).
[Crossref]

Harrison, R. A.

E. Marsch, R. G. Marsden, R. A. Harrison, R. Wimmer-Schweingruber, and B. Fleck, “Solar Orbiter–mission profile, main goals and present status,” Adv. Space Res. 36(8), 1360–1366 (2005).
[Crossref]

Heinzel, P.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Hlawacek, G.

V. Veligura, G. Hlawacek, R. P. Berkelaar, R. van Gastel, H. J. W. Zandvliet, and B. Poelsema, “Digging gold: keV He+ ion interaction with Au,” Beilstein J Nanotechnol 4, 453–460 (2013).
[Crossref] [PubMed]

Hunderi, O.

Jerome, A.

A. Ziani, F. Delmotte, C. Le Paven-Thivet, E. Meltchakov, A. Jerome, M. Roulliay, F. Bridou, and K. Gasc, “Ion beam sputtered aluminum based multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar imaging,” Thin Solid Films 552, 62–67 (2014).
[Crossref]

Kuznetsov, A. S.

A. S. Kuznetsov, M. A. Gleeson, and F. Bijkerk, “Hydrogen-induced blistering of Mo/Si multilayers: Uptake and distribution,” Thin Solid Films 545, 571–579 (2013).
[Crossref]

A. S. Kuznetsov, M. A. Gleeson, and F. Bijkerk, “Ion effects in hydrogen-induced blistering of Mo/Si multilayers,” J. Appl. Phys. 114(11), 113507 (2013).
[Crossref]

Lamoureux, H.

A. D. Rousseau, D. L. Windt, B. Winter, L. Harra, H. Lamoureux, and F. Eriksson, “Stability of EUV multilayers to long-term heating, and to energetic protons and neutrons, for extreme solar missions,” Proc. SPIE 5900, 590004 (2005).
[Crossref]

Lamy, P. L.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Landini, F.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Le Paven-Thivet, C.

A. Ziani, F. Delmotte, C. Le Paven-Thivet, E. Meltchakov, A. Jerome, M. Roulliay, F. Bridou, and K. Gasc, “Ion beam sputtered aluminum based multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar imaging,” Thin Solid Films 552, 62–67 (2014).
[Crossref]

Livengood, R.

R. Livengood, S. Tan, Y. Greenzweig, J. Notte, and S. McVey, “Subsurface damage from helium ions as a function of dose, beam energy, and dose rate,” J. Vac. Sci. Technol. B: Microelectronics and Nanometer Structures 27(6), 3244 (2009).
[Crossref]

Maggioni, G.

V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, G. Salmaso, V. Mattarello, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, L. Depero, E. Bontempi, and P. Mazzoldi, “Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications,” Surf. Coat. Tech. 174–175, 40–48 (2003).
[Crossref]

Mahne, N.

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

Malvezzi, M. A.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Marsch, E.

E. Marsch, R. G. Marsden, R. A. Harrison, R. Wimmer-Schweingruber, and B. Fleck, “Solar Orbiter–mission profile, main goals and present status,” Adv. Space Res. 36(8), 1360–1366 (2005).
[Crossref]

Marsden, R. G.

E. Marsch, R. G. Marsden, R. A. Harrison, R. Wimmer-Schweingruber, and B. Fleck, “Solar Orbiter–mission profile, main goals and present status,” Adv. Space Res. 36(8), 1360–1366 (2005).
[Crossref]

Massone, G.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Mattarello, V.

V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, G. Salmaso, V. Mattarello, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, L. Depero, E. Bontempi, and P. Mazzoldi, “Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications,” Surf. Coat. Tech. 174–175, 40–48 (2003).
[Crossref]

Mattei, G.

Mazzoldi, P.

V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, G. Salmaso, V. Mattarello, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, L. Depero, E. Bontempi, and P. Mazzoldi, “Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications,” Surf. Coat. Tech. 174–175, 40–48 (2003).
[Crossref]

McVey, S.

R. Livengood, S. Tan, Y. Greenzweig, J. Notte, and S. McVey, “Subsurface damage from helium ions as a function of dose, beam energy, and dose rate,” J. Vac. Sci. Technol. B: Microelectronics and Nanometer Structures 27(6), 3244 (2009).
[Crossref]

Meltchakov, E.

A. Ziani, F. Delmotte, C. Le Paven-Thivet, E. Meltchakov, A. Jerome, M. Roulliay, F. Bridou, and K. Gasc, “Ion beam sputtered aluminum based multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar imaging,” Thin Solid Films 552, 62–67 (2014).
[Crossref]

Menchini, F.

Monaco, G.

Moses, J. D.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Naletto, G.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

G. Naletto, A. Boscolo, J. Wyss, and A. Quaranta, “Effects of proton irradiation on glass filter substrates for the Rosetta mission,” Appl. Opt. 42(19), 3970–3980 (2003).
[Crossref] [PubMed]

G. Naletto, M. G. Pelizzo, G. Tondello, S. Nannarone, and A. Giglia, “The monochromator for the synchrotron radiation beamline X-MOSS at ELETTRA,” Proc. SPIE, Vol. 4145, p. 105 (2001).
[Crossref]

Nannarone, S.

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

G. Naletto, M. G. Pelizzo, G. Tondello, S. Nannarone, and A. Giglia, “The monochromator for the synchrotron radiation beamline X-MOSS at ELETTRA,” Proc. SPIE, Vol. 4145, p. 105 (2001).
[Crossref]

Nardello, M.

Nicolini, G.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Nicolosi, P.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

M. G. Pelizzo, A. J. Corso, P. Zuppella, D. L. Windt, G. Mattei, and P. Nicolosi, “Stability of extreme ultraviolet multilayer coatings to low energy proton bombardment,” Opt. Express 19(16), 14838–14844 (2011).
[Crossref] [PubMed]

P. Zuppella, G. Monaco, A. J. Corso, P. Nicolosi, D. L. Windt, V. Bello, G. Mattei, and M. G. Pelizzo, “Iridium/silicon multilayers for extreme ultraviolet applications in the 20-35 nm wavelength range,” Opt. Lett. 36(7), 1203–1205 (2011).
[Crossref] [PubMed]

V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, G. Salmaso, V. Mattarello, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, L. Depero, E. Bontempi, and P. Mazzoldi, “Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications,” Surf. Coat. Tech. 174–175, 40–48 (2003).
[Crossref]

Niklasson, G. A.

Notte, J.

R. Livengood, S. Tan, Y. Greenzweig, J. Notte, and S. McVey, “Subsurface damage from helium ions as a function of dose, beam energy, and dose rate,” J. Vac. Sci. Technol. B: Microelectronics and Nanometer Structures 27(6), 3244 (2009).
[Crossref]

Pancrazzi, M.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Pasquali, L.

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

Patelli, A.

V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, G. Salmaso, V. Mattarello, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, L. Depero, E. Bontempi, and P. Mazzoldi, “Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications,” Surf. Coat. Tech. 174–175, 40–48 (2003).
[Crossref]

Pedio, M.

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

Pelizzo, M. G.

M. Nardello, P. Zuppella, V. Polito, A. J. Corso, S. Zuccon, and M. G. Pelizzo, “Stability of EUV multilayer coatings to low energy alpha particles bombardment,” Opt. Express 21(23), 28334–28343 (2013).
[Crossref] [PubMed]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

M. G. Pelizzo, A. J. Corso, P. Zuppella, D. L. Windt, G. Mattei, and P. Nicolosi, “Stability of extreme ultraviolet multilayer coatings to low energy proton bombardment,” Opt. Express 19(16), 14838–14844 (2011).
[Crossref] [PubMed]

P. Zuppella, G. Monaco, A. J. Corso, P. Nicolosi, D. L. Windt, V. Bello, G. Mattei, and M. G. Pelizzo, “Iridium/silicon multilayers for extreme ultraviolet applications in the 20-35 nm wavelength range,” Opt. Lett. 36(7), 1203–1205 (2011).
[Crossref] [PubMed]

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, G. Salmaso, V. Mattarello, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, L. Depero, E. Bontempi, and P. Mazzoldi, “Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications,” Surf. Coat. Tech. 174–175, 40–48 (2003).
[Crossref]

G. Naletto, M. G. Pelizzo, G. Tondello, S. Nannarone, and A. Giglia, “The monochromator for the synchrotron radiation beamline X-MOSS at ELETTRA,” Proc. SPIE, Vol. 4145, p. 105 (2001).
[Crossref]

Piegari, A.

Poelsema, B.

V. Veligura, G. Hlawacek, R. P. Berkelaar, R. van Gastel, H. J. W. Zandvliet, and B. Poelsema, “Digging gold: keV He+ ion interaction with Au,” Beilstein J Nanotechnol 4, 453–460 (2013).
[Crossref] [PubMed]

Poletto, L.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Polito, V.

Quaranta, A.

Ranieri, V.

V. Ranieri, M. Saggio, and E. Rimini, “Voids in silicon by He implantation: From basic to applications,” J. Mater. Res. Vol 15(7), 1449–1477 (2000).

Reiser, A.

M. Seita, A. Reiser, and R. Spolenak, “Ion-induce grain growth and texturing in refractory thin films – A low temperature process,” Appl. Phys. Lett. 101(25), 251905 (2012).
[Crossref]

Rigato, V.

V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, G. Salmaso, V. Mattarello, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, L. Depero, E. Bontempi, and P. Mazzoldi, “Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications,” Surf. Coat. Tech. 174–175, 40–48 (2003).
[Crossref]

Rimini, E.

V. Ranieri, M. Saggio, and E. Rimini, “Voids in silicon by He implantation: From basic to applications,” J. Mater. Res. Vol 15(7), 1449–1477 (2000).

Romoli, M.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Roulliay, M.

A. Ziani, F. Delmotte, C. Le Paven-Thivet, E. Meltchakov, A. Jerome, M. Roulliay, F. Bridou, and K. Gasc, “Ion beam sputtered aluminum based multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar imaging,” Thin Solid Films 552, 62–67 (2014).
[Crossref]

Rousseau, A. D.

A. D. Rousseau, D. L. Windt, B. Winter, L. Harra, H. Lamoureux, and F. Eriksson, “Stability of EUV multilayers to long-term heating, and to energetic protons and neutrons, for extreme solar missions,” Proc. SPIE 5900, 590004 (2005).
[Crossref]

Saggio, M.

V. Ranieri, M. Saggio, and E. Rimini, “Voids in silicon by He implantation: From basic to applications,” J. Mater. Res. Vol 15(7), 1449–1477 (2000).

Salmaso, G.

V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, G. Salmaso, V. Mattarello, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, L. Depero, E. Bontempi, and P. Mazzoldi, “Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications,” Surf. Coat. Tech. 174–175, 40–48 (2003).
[Crossref]

Scaglione, S.

Schühle, U. H.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Seita, M.

M. Seita, A. Reiser, and R. Spolenak, “Ion-induce grain growth and texturing in refractory thin films – A low temperature process,” Appl. Phys. Lett. 101(25), 251905 (2012).
[Crossref]

Selvaggi, G.

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

Solanki, S. K.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Spadaro, D.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Spolenak, R.

M. Seita, A. Reiser, and R. Spolenak, “Ion-induce grain growth and texturing in refractory thin films – A low temperature process,” Appl. Phys. Lett. 101(25), 251905 (2012).
[Crossref]

Sytchkova, A.

Tan, S.

R. Livengood, S. Tan, Y. Greenzweig, J. Notte, and S. McVey, “Subsurface damage from helium ions as a function of dose, beam energy, and dose rate,” J. Vac. Sci. Technol. B: Microelectronics and Nanometer Structures 27(6), 3244 (2009).
[Crossref]

Telloni, D.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Teriaca, L.

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

Tondello, G.

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

G. Naletto, M. G. Pelizzo, G. Tondello, S. Nannarone, and A. Giglia, “The monochromator for the synchrotron radiation beamline X-MOSS at ELETTRA,” Proc. SPIE, Vol. 4145, p. 105 (2001).
[Crossref]

Uslenghi, M.

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

van Gastel, R.

V. Veligura, G. Hlawacek, R. P. Berkelaar, R. van Gastel, H. J. W. Zandvliet, and B. Poelsema, “Digging gold: keV He+ ion interaction with Au,” Beilstein J Nanotechnol 4, 453–460 (2013).
[Crossref] [PubMed]

Veligura, V.

V. Veligura, G. Hlawacek, R. P. Berkelaar, R. van Gastel, H. J. W. Zandvliet, and B. Poelsema, “Digging gold: keV He+ ion interaction with Au,” Beilstein J Nanotechnol 4, 453–460 (2013).
[Crossref] [PubMed]

Wimmer-Schweingruber, R.

E. Marsch, R. G. Marsden, R. A. Harrison, R. Wimmer-Schweingruber, and B. Fleck, “Solar Orbiter–mission profile, main goals and present status,” Adv. Space Res. 36(8), 1360–1366 (2005).
[Crossref]

Windt, D. L.

Winter, B.

A. D. Rousseau, D. L. Windt, B. Winter, L. Harra, H. Lamoureux, and F. Eriksson, “Stability of EUV multilayers to long-term heating, and to energetic protons and neutrons, for extreme solar missions,” Proc. SPIE 5900, 590004 (2005).
[Crossref]

Wyss, J.

Zandvliet, H. J. W.

V. Veligura, G. Hlawacek, R. P. Berkelaar, R. van Gastel, H. J. W. Zandvliet, and B. Poelsema, “Digging gold: keV He+ ion interaction with Au,” Beilstein J Nanotechnol 4, 453–460 (2013).
[Crossref] [PubMed]

Ziani, A.

A. Ziani, F. Delmotte, C. Le Paven-Thivet, E. Meltchakov, A. Jerome, M. Roulliay, F. Bridou, and K. Gasc, “Ion beam sputtered aluminum based multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar imaging,” Thin Solid Films 552, 62–67 (2014).
[Crossref]

Zola, D.

Zuccon, S.

Zuppella, P.

Adv. Space Res. (1)

E. Marsch, R. G. Marsden, R. A. Harrison, R. Wimmer-Schweingruber, and B. Fleck, “Solar Orbiter–mission profile, main goals and present status,” Adv. Space Res. 36(8), 1360–1366 (2005).
[Crossref]

AIP Conf. Proc. (1)

S. Nannarone, F. Borgatti, A. DeLuisa, B. P. Doyle, G. C. Gazzadi, A. Giglia, P. Finetti, N. Mahne, L. Pasquali, M. Pedio, G. Selvaggi, G. Naletto, M. G. Pelizzo, and G. Tondello, “The BEAR beamline at ELETTRA,” AIP Conf. Proc. 705, 450–453 (2004).
[Crossref]

Appl. Opt. (3)

Appl. Phys. Lett. (1)

M. Seita, A. Reiser, and R. Spolenak, “Ion-induce grain growth and texturing in refractory thin films – A low temperature process,” Appl. Phys. Lett. 101(25), 251905 (2012).
[Crossref]

Beilstein J Nanotechnol (1)

V. Veligura, G. Hlawacek, R. P. Berkelaar, R. van Gastel, H. J. W. Zandvliet, and B. Poelsema, “Digging gold: keV He+ ion interaction with Au,” Beilstein J Nanotechnol 4, 453–460 (2013).
[Crossref] [PubMed]

J. Appl. Phys. (1)

A. S. Kuznetsov, M. A. Gleeson, and F. Bijkerk, “Ion effects in hydrogen-induced blistering of Mo/Si multilayers,” J. Appl. Phys. 114(11), 113507 (2013).
[Crossref]

J. Mater. Res. Vol (1)

V. Ranieri, M. Saggio, and E. Rimini, “Voids in silicon by He implantation: From basic to applications,” J. Mater. Res. Vol 15(7), 1449–1477 (2000).

J. Vac. Sci. Technol. B: Microelectronics and Nanometer Structures (1)

R. Livengood, S. Tan, Y. Greenzweig, J. Notte, and S. McVey, “Subsurface damage from helium ions as a function of dose, beam energy, and dose rate,” J. Vac. Sci. Technol. B: Microelectronics and Nanometer Structures 27(6), 3244 (2009).
[Crossref]

Opt. Express (2)

Opt. Lett. (1)

Proc. SPIE (3)

A. D. Rousseau, D. L. Windt, B. Winter, L. Harra, H. Lamoureux, and F. Eriksson, “Stability of EUV multilayers to long-term heating, and to energetic protons and neutrons, for extreme solar missions,” Proc. SPIE 5900, 590004 (2005).
[Crossref]

E. Antonucci, S. Fineschi, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “Multi Element Telescope for Imaging and Spectroscopy (METIS) coronagraph for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 844309 (2012).
[Crossref]

S. Fineschi, E. Antonucci, G. Naletto, M. Romoli, D. Spadaro, G. Nicolini, P. Nicolosi, L. Abbo, V. Andretta, A. Bemporad, F. Auchère, A. Berlicki, R. Bruno, G. Capobianco, A. Ciaravella, G. Crescenzio, V. Da Deppo, R. D’Amicis, M. Focardi, F. Frassetto, P. Heinzel, P. L. Lamy, F. Landini, G. Massone, M. A. Malvezzi, J. D. Moses, M. Pancrazzi, M. G. Pelizzo, L. Poletto, U. H. Schühle, S. K. Solanki, D. Telloni, L. Teriaca, and M. Uslenghi, “METIS: a novel coronagraph design for the Solar Orbiter mission,” Proc. SPIE 8443, 84433H (2012).
[Crossref]

Surf. Coat. Tech. (1)

V. Rigato, A. Patelli, G. Maggioni, G. Salmaso, V. Mattarello, M. G. Pelizzo, P. Nicolosi, L. Depero, E. Bontempi, and P. Mazzoldi, “Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications,” Surf. Coat. Tech. 174–175, 40–48 (2003).
[Crossref]

Thin Solid Films (2)

A. S. Kuznetsov, M. A. Gleeson, and F. Bijkerk, “Hydrogen-induced blistering of Mo/Si multilayers: Uptake and distribution,” Thin Solid Films 545, 571–579 (2013).
[Crossref]

A. Ziani, F. Delmotte, C. Le Paven-Thivet, E. Meltchakov, A. Jerome, M. Roulliay, F. Bridou, and K. Gasc, “Ion beam sputtered aluminum based multilayer mirrors for extreme ultraviolet solar imaging,” Thin Solid Films 552, 62–67 (2014).
[Crossref]

Other (5)

ESA, “Solar Orbiter environmental specification - Issue 3.0,” (2010).

J. F. Ziegler and J. P. Biersack, SRIM - The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon Press, 1985).

G. Naletto, M. G. Pelizzo, G. Tondello, S. Nannarone, and A. Giglia, “The monochromator for the synchrotron radiation beamline X-MOSS at ELETTRA,” Proc. SPIE, Vol. 4145, p. 105 (2001).
[Crossref]

Handbook of Optical Constants of Solids, Edward D. Palik, ed. (Academic Press, Inc. 1985).

A. Benninghoven, F. G. Rüdenauer, and H. W. Werner, Secondary Ion Mass Spectrometry (Wiley, 1987).

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (13)

Fig. 1
Fig. 1 Reflectance of gold mirrors in the visible spectral range.
Fig. 2
Fig. 2 Reflectance of gold mirrors in the VUV range.
Fig. 3
Fig. 3 Reflectance of Iridium mirrors in the visible range.
Fig. 4
Fig. 4 Reflectance of iridium mirrors in the VUV 105-155 nm spectral range.
Fig. 5
Fig. 5 Reflectance of iridium mirrors in VUV 48-66 nm spectral range.
Fig. 6
Fig. 6 AFM image of the surface of sample Au0.
Fig. 7
Fig. 7 AFM image of the surface of sample Au4.
Fig. 8
Fig. 8 Comparison between SIMS experimental data of He + distribution in gold Au4 sample and SRIM calculation assuming two different Au densities.
Fig. 9
Fig. 9 Comparison between SIMS experimental data of He distribution in iridium Ir4 sample and SRIM calculation.
Fig. 10
Fig. 10 Layout of the Au film where the region of major ion implanted intermixing region is highlighted. The SIMS profile is superimposed.
Fig. 11
Fig. 11 Calculated reflectance for Au film with (dotted line) and without (continuous line) intermixing layer. The two wavelength ranges VUV and Visible are shown.
Fig. 12
Fig. 12 Calculated reflectance for Ir film with (dotted line) and without (continuous line) intermixing layer. The two wavelength ranges EUV and visible are shown.
Fig. 13
Fig. 13 Volume fraction inserted in the model in order to verify the relative reflectivity loss experimentally observed.

Tables (3)

Tables Icon

Table 1 Ion implantation experimental parameters.

Tables Icon

Table 2 SRIM calculation main results.

Tables Icon

Table 3 The experimental decrease in reflectance and the correspondent vf are listed as function of the fluence.

Equations (1)

Equations on this page are rendered with MathJax. Learn more.

ε f = ε m 2( 1 v f ) ε m +( 1+2 v f ) ε He ( 2+ v f ) ε m +( 1 v f ) ε He

Metrics