Abstract

Direct integration of high-performance laser diodes on silicon will dramatically transform the world of photonics, expediting the progress toward low-cost and compact photonic integrated circuits (PICs) on the mainstream silicon platform. Here, we report, to the best of our knowledge, the first 1.3 μm room-temperature continuous-wave InAs quantum-dot micro-disk lasers epitaxially grown on industrial-compatible Si (001) substrates without offcut. The lasing threshold is as low as hundreds of microwatts, similar to the thresholds of identical lasers grown on a GaAs substrate. The heteroepitaxial structure employed here does not require the use of an absorptive germanium buffer and/or dislocation filter layers, both of which impede the efficient coupling of light from the laser active regions to silicon waveguides. This allows for full compatibility with the extensive silicon-on-insulator (SOI) technology. The large-area virtual GaAs (on Si) substrates can be directly adopted in various mature in-plane laser configurations, both optically and electrically. Thus, this demonstration represents a major advancement toward the commercial success of fully integrated silicon photonics.

© 2016 Optical Society of America

Full Article  |  PDF Article
OSA Recommended Articles
1.3-μm InAs quantum-dot micro-disk lasers on V-groove patterned and unpatterned (001) silicon

Qiang Li, Yating Wan, Alan Y. Liu, Arthur C. Gossard, John E. Bowers, Evelyn L. Hu, and Kei May Lau
Opt. Express 24(18) 21038-21045 (2016)

Electrically pumped continuous wave quantum dot lasers epitaxially grown on patterned, on-axis (001) Si

Justin Norman, M. J. Kennedy, Jennifer Selvidge, Qiang Li, Yating Wan, Alan Y. Liu, Patrick G. Callahan, McLean P. Echlin, Tresa M. Pollock, Kei May Lau, Arthur C. Gossard, and John E. Bowers
Opt. Express 25(4) 3927-3934 (2017)

Room-temperature electrically-pumped 1.5 μm InGaAs/InAlGaAs laser monolithically grown on on-axis (001) Si

Si Zhu, Bei Shi, Qiang Li, and Kei May Lau
Opt. Express 26(11) 14514-14523 (2018)

References

  • View by:
  • |
  • |
  • |

  1. D. Liang and J. E. Bowers, Nat. Photonics 4, 511 (2010).
    [Crossref]
  2. Z. Zhou, B. Yin, and J. Michel, Light: Sci. Appl. 4, e358 (2015).
    [Crossref]
  3. R. Won, Nat. Photonics 4, 498 (2010).
    [Crossref]
  4. A. E. Lim, J. Song, Q. Fang, C. Li, X. Tu, N. Duan, K. K. Chen, R. P. Tern, and T. Y. Liow, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 20, 405 (2014).
    [Crossref]
  5. G. T. Reed, G. Mashanovich, F. Y. Gardes, and D. J. Thomson, Nat. Photonics 4, 518 (2010).
    [Crossref]
  6. J. Michel, J. Liu, and L. C. Kimerling, Nat. Photonics 4, 527 (2010).
    [Crossref]
  7. F. Xia, L. Sekaric, and Y. Vlasov, Nat. Photonics 1, 65 (2007).
    [Crossref]
  8. J. E. Bowers, J. T. Bovington, A. Y. Liu, and A. C. Gossard, Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2014).
  9. A. E. Zhukov, M. V. Maksimov, and A. R. Kovsh, Semiconductors 46, 1249 (2012).
  10. M. Sugawara and M. Usami, Nat. Photonics 3, 30 (2009).
    [Crossref]
  11. J. Yang, P. Bhattacharya, and Z. Mi, IEEE Trans. Electron. Devices 54, 2849 (2007).
    [Crossref]
  12. D. Bordel, D. Guimard, M. Rajesh, M. Nishioka, E. Augendre, L. Clavelier, and Y. Arakawa, Appl. Phys. Lett. 96, 043101 (2010).
    [Crossref]
  13. K. J. Vahala, Nature 424, 839 (2003).
    [Crossref]
  14. H. Liu, T. Wang, Q. Jiang, R. Hogg, F. Tutu, F. Pozzi, and A. Seeds, Nat. Photonics 5, 416 (2011).
    [Crossref]
  15. A. Lee, Q. Jiang, M. Tang, A. Seeds, and H. Liu, Opt. Express 20, 22181 (2012).
    [Crossref]
  16. S. M. Chen, M. C. Tang, J. Wu, Q. Jiang, V. G. Dorogan, M. Benamara, Y. I. Mazur, G. J. Salamo, A. J. Seeds, and H. Liu, Electron. Lett. 50, 1467 (2014).
    [Crossref]
  17. A. Y. Liu, C. Zhang, J. Norman, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 104, 041104 (2014).
    [Crossref]
  18. A. Y. Liu, R. W. Herrick, O. Ueda, P. M. Petroff, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 690 (2015).
    [Crossref]
  19. A. Y. Liu, S. Srinivasan, J. Norman, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Photon. Res. 3, B1 (2015).
    [Crossref]
  20. Q. Li, K. W. Ng, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett. 106, 072105 (2015).
    [Crossref]
  21. Y. Wan, Q. Li, Y. Geng, B. Shi, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett 107, 081106 (2015).
    [Crossref]
  22. A. Y. Liu, C. Zhang, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, J. Vac. Sci. Technol. B 32, 02C108 (2014).
    [Crossref]
  23. A. Woolf, T. Puchtler, I. Aharonovich, T. Zhu, N. Niu, D. Wang, R. Oliver, and E. L. Hu, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 111, 14042 (2014).
    [Crossref]
  24. A. C. Tamboli, E. D. Haberer, R. Sharma, K. H. Lee, S. Nakamura, and E. L. Hu, Nat. Photonics 1, 61 (2007).
    [Crossref]
  25. N. V. Kryzhanovskaya, A. E. Zhukov, M. V. Maximov, E. I. Moiseev, I. I. Shostak, A. M. Nadtochiy, Y. V. Kudashova, A. A. Lipovskii, M. M. Kulagina, and S. I. Troshkov, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 709 (2015).
    [Crossref]
  26. W. W. Chow, A. Y. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 107, 171106 (2015).
    [Crossref]
  27. D. Liang, M. Fiorentino, T. Okumura, H. Chang, D. T. Spencer, Y. Kuo, A. W. Fang, D. Dai, R. G. Beausoleil, and J. E. Bowers, Opt. Express,  17, 20355 (2009).
    [Crossref]
  28. J. A. del Alamo, Nature 479, 317 (2011).
    [Crossref]
  29. N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.
  30. Z. Wang, B. Tian, M. Pantouvaki, W. Guo, P. Absil, J. V. Campenhout, C. Merckling, and D. V. Thourhout, Nat. Photonics 9, 837 (2015).
    [Crossref]

2015 (8)

Z. Zhou, B. Yin, and J. Michel, Light: Sci. Appl. 4, e358 (2015).
[Crossref]

A. Y. Liu, R. W. Herrick, O. Ueda, P. M. Petroff, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 690 (2015).
[Crossref]

A. Y. Liu, S. Srinivasan, J. Norman, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Photon. Res. 3, B1 (2015).
[Crossref]

Q. Li, K. W. Ng, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett. 106, 072105 (2015).
[Crossref]

Y. Wan, Q. Li, Y. Geng, B. Shi, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett 107, 081106 (2015).
[Crossref]

N. V. Kryzhanovskaya, A. E. Zhukov, M. V. Maximov, E. I. Moiseev, I. I. Shostak, A. M. Nadtochiy, Y. V. Kudashova, A. A. Lipovskii, M. M. Kulagina, and S. I. Troshkov, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 709 (2015).
[Crossref]

W. W. Chow, A. Y. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 107, 171106 (2015).
[Crossref]

Z. Wang, B. Tian, M. Pantouvaki, W. Guo, P. Absil, J. V. Campenhout, C. Merckling, and D. V. Thourhout, Nat. Photonics 9, 837 (2015).
[Crossref]

2014 (5)

S. M. Chen, M. C. Tang, J. Wu, Q. Jiang, V. G. Dorogan, M. Benamara, Y. I. Mazur, G. J. Salamo, A. J. Seeds, and H. Liu, Electron. Lett. 50, 1467 (2014).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, J. Norman, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 104, 041104 (2014).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, J. Vac. Sci. Technol. B 32, 02C108 (2014).
[Crossref]

A. Woolf, T. Puchtler, I. Aharonovich, T. Zhu, N. Niu, D. Wang, R. Oliver, and E. L. Hu, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 111, 14042 (2014).
[Crossref]

A. E. Lim, J. Song, Q. Fang, C. Li, X. Tu, N. Duan, K. K. Chen, R. P. Tern, and T. Y. Liow, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 20, 405 (2014).
[Crossref]

2012 (2)

A. E. Zhukov, M. V. Maksimov, and A. R. Kovsh, Semiconductors 46, 1249 (2012).

A. Lee, Q. Jiang, M. Tang, A. Seeds, and H. Liu, Opt. Express 20, 22181 (2012).
[Crossref]

2011 (2)

J. A. del Alamo, Nature 479, 317 (2011).
[Crossref]

H. Liu, T. Wang, Q. Jiang, R. Hogg, F. Tutu, F. Pozzi, and A. Seeds, Nat. Photonics 5, 416 (2011).
[Crossref]

2010 (5)

D. Liang and J. E. Bowers, Nat. Photonics 4, 511 (2010).
[Crossref]

D. Bordel, D. Guimard, M. Rajesh, M. Nishioka, E. Augendre, L. Clavelier, and Y. Arakawa, Appl. Phys. Lett. 96, 043101 (2010).
[Crossref]

R. Won, Nat. Photonics 4, 498 (2010).
[Crossref]

G. T. Reed, G. Mashanovich, F. Y. Gardes, and D. J. Thomson, Nat. Photonics 4, 518 (2010).
[Crossref]

J. Michel, J. Liu, and L. C. Kimerling, Nat. Photonics 4, 527 (2010).
[Crossref]

2009 (2)

2007 (3)

J. Yang, P. Bhattacharya, and Z. Mi, IEEE Trans. Electron. Devices 54, 2849 (2007).
[Crossref]

F. Xia, L. Sekaric, and Y. Vlasov, Nat. Photonics 1, 65 (2007).
[Crossref]

A. C. Tamboli, E. D. Haberer, R. Sharma, K. H. Lee, S. Nakamura, and E. L. Hu, Nat. Photonics 1, 61 (2007).
[Crossref]

2003 (1)

K. J. Vahala, Nature 424, 839 (2003).
[Crossref]

Absil, P.

Z. Wang, B. Tian, M. Pantouvaki, W. Guo, P. Absil, J. V. Campenhout, C. Merckling, and D. V. Thourhout, Nat. Photonics 9, 837 (2015).
[Crossref]

Aharonovich, I.

A. Woolf, T. Puchtler, I. Aharonovich, T. Zhu, N. Niu, D. Wang, R. Oliver, and E. L. Hu, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 111, 14042 (2014).
[Crossref]

Ansar, S.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Arakawa, Y.

D. Bordel, D. Guimard, M. Rajesh, M. Nishioka, E. Augendre, L. Clavelier, and Y. Arakawa, Appl. Phys. Lett. 96, 043101 (2010).
[Crossref]

Augendre, E.

D. Bordel, D. Guimard, M. Rajesh, M. Nishioka, E. Augendre, L. Clavelier, and Y. Arakawa, Appl. Phys. Lett. 96, 043101 (2010).
[Crossref]

Barla, K.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Beausoleil, R. G.

Benamara, M.

S. M. Chen, M. C. Tang, J. Wu, Q. Jiang, V. G. Dorogan, M. Benamara, Y. I. Mazur, G. J. Salamo, A. J. Seeds, and H. Liu, Electron. Lett. 50, 1467 (2014).
[Crossref]

Bender, H.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Bhattacharya, P.

J. Yang, P. Bhattacharya, and Z. Mi, IEEE Trans. Electron. Devices 54, 2849 (2007).
[Crossref]

Boccardi, G.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Bordel, D.

D. Bordel, D. Guimard, M. Rajesh, M. Nishioka, E. Augendre, L. Clavelier, and Y. Arakawa, Appl. Phys. Lett. 96, 043101 (2010).
[Crossref]

Bovington, J. T.

J. E. Bowers, J. T. Bovington, A. Y. Liu, and A. C. Gossard, Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2014).

Bowers, J. E.

W. W. Chow, A. Y. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 107, 171106 (2015).
[Crossref]

A. Y. Liu, R. W. Herrick, O. Ueda, P. M. Petroff, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 690 (2015).
[Crossref]

A. Y. Liu, S. Srinivasan, J. Norman, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Photon. Res. 3, B1 (2015).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, J. Norman, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 104, 041104 (2014).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, J. Vac. Sci. Technol. B 32, 02C108 (2014).
[Crossref]

D. Liang and J. E. Bowers, Nat. Photonics 4, 511 (2010).
[Crossref]

D. Liang, M. Fiorentino, T. Okumura, H. Chang, D. T. Spencer, Y. Kuo, A. W. Fang, D. Dai, R. G. Beausoleil, and J. E. Bowers, Opt. Express,  17, 20355 (2009).
[Crossref]

J. E. Bowers, J. T. Bovington, A. Y. Liu, and A. C. Gossard, Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2014).

Campenhout, J. V.

Z. Wang, B. Tian, M. Pantouvaki, W. Guo, P. Absil, J. V. Campenhout, C. Merckling, and D. V. Thourhout, Nat. Photonics 9, 837 (2015).
[Crossref]

Caymax, M.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Chang, H.

Chen, K. K.

A. E. Lim, J. Song, Q. Fang, C. Li, X. Tu, N. Duan, K. K. Chen, R. P. Tern, and T. Y. Liow, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 20, 405 (2014).
[Crossref]

Chen, S. M.

S. M. Chen, M. C. Tang, J. Wu, Q. Jiang, V. G. Dorogan, M. Benamara, Y. I. Mazur, G. J. Salamo, A. J. Seeds, and H. Liu, Electron. Lett. 50, 1467 (2014).
[Crossref]

Chow, W. W.

W. W. Chow, A. Y. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 107, 171106 (2015).
[Crossref]

Clavelier, L.

D. Bordel, D. Guimard, M. Rajesh, M. Nishioka, E. Augendre, L. Clavelier, and Y. Arakawa, Appl. Phys. Lett. 96, 043101 (2010).
[Crossref]

Collaert, N.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Dai, D.

del Alamo, J. A.

J. A. del Alamo, Nature 479, 317 (2011).
[Crossref]

Dohaurd, B.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Dorogan, V. G.

S. M. Chen, M. C. Tang, J. Wu, Q. Jiang, V. G. Dorogan, M. Benamara, Y. I. Mazur, G. J. Salamo, A. J. Seeds, and H. Liu, Electron. Lett. 50, 1467 (2014).
[Crossref]

Duan, N.

A. E. Lim, J. Song, Q. Fang, C. Li, X. Tu, N. Duan, K. K. Chen, R. P. Tern, and T. Y. Liow, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 20, 405 (2014).
[Crossref]

Fang, A. W.

Fang, Q.

A. E. Lim, J. Song, Q. Fang, C. Li, X. Tu, N. Duan, K. K. Chen, R. P. Tern, and T. Y. Liow, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 20, 405 (2014).
[Crossref]

Fastenau, J. M.

A. Y. Liu, C. Zhang, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, J. Vac. Sci. Technol. B 32, 02C108 (2014).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, J. Norman, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 104, 041104 (2014).
[Crossref]

Fiorentino, M.

Gardes, F. Y.

G. T. Reed, G. Mashanovich, F. Y. Gardes, and D. J. Thomson, Nat. Photonics 4, 518 (2010).
[Crossref]

Geng, Y.

Y. Wan, Q. Li, Y. Geng, B. Shi, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett 107, 081106 (2015).
[Crossref]

Gossard, A. C.

W. W. Chow, A. Y. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 107, 171106 (2015).
[Crossref]

A. Y. Liu, R. W. Herrick, O. Ueda, P. M. Petroff, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 690 (2015).
[Crossref]

A. Y. Liu, S. Srinivasan, J. Norman, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Photon. Res. 3, B1 (2015).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, J. Norman, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 104, 041104 (2014).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, J. Vac. Sci. Technol. B 32, 02C108 (2014).
[Crossref]

J. E. Bowers, J. T. Bovington, A. Y. Liu, and A. C. Gossard, Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2014).

Guimard, D.

D. Bordel, D. Guimard, M. Rajesh, M. Nishioka, E. Augendre, L. Clavelier, and Y. Arakawa, Appl. Phys. Lett. 96, 043101 (2010).
[Crossref]

Guo, W.

Z. Wang, B. Tian, M. Pantouvaki, W. Guo, P. Absil, J. V. Campenhout, C. Merckling, and D. V. Thourhout, Nat. Photonics 9, 837 (2015).
[Crossref]

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Haberer, E. D.

A. C. Tamboli, E. D. Haberer, R. Sharma, K. H. Lee, S. Nakamura, and E. L. Hu, Nat. Photonics 1, 61 (2007).
[Crossref]

Herrick, R. W.

A. Y. Liu, R. W. Herrick, O. Ueda, P. M. Petroff, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 690 (2015).
[Crossref]

Heyns, M.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Hogg, R.

H. Liu, T. Wang, Q. Jiang, R. Hogg, F. Tutu, F. Pozzi, and A. Seeds, Nat. Photonics 5, 416 (2011).
[Crossref]

Hu, E. L.

A. Woolf, T. Puchtler, I. Aharonovich, T. Zhu, N. Niu, D. Wang, R. Oliver, and E. L. Hu, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 111, 14042 (2014).
[Crossref]

A. C. Tamboli, E. D. Haberer, R. Sharma, K. H. Lee, S. Nakamura, and E. L. Hu, Nat. Photonics 1, 61 (2007).
[Crossref]

Jiang, Q.

S. M. Chen, M. C. Tang, J. Wu, Q. Jiang, V. G. Dorogan, M. Benamara, Y. I. Mazur, G. J. Salamo, A. J. Seeds, and H. Liu, Electron. Lett. 50, 1467 (2014).
[Crossref]

A. Lee, Q. Jiang, M. Tang, A. Seeds, and H. Liu, Opt. Express 20, 22181 (2012).
[Crossref]

H. Liu, T. Wang, Q. Jiang, R. Hogg, F. Tutu, F. Pozzi, and A. Seeds, Nat. Photonics 5, 416 (2011).
[Crossref]

Kimerling, L. C.

J. Michel, J. Liu, and L. C. Kimerling, Nat. Photonics 4, 527 (2010).
[Crossref]

Kovsh, A. R.

A. E. Zhukov, M. V. Maksimov, and A. R. Kovsh, Semiconductors 46, 1249 (2012).

Kryzhanovskaya, N. V.

N. V. Kryzhanovskaya, A. E. Zhukov, M. V. Maximov, E. I. Moiseev, I. I. Shostak, A. M. Nadtochiy, Y. V. Kudashova, A. A. Lipovskii, M. M. Kulagina, and S. I. Troshkov, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 709 (2015).
[Crossref]

Kudashova, Y. V.

N. V. Kryzhanovskaya, A. E. Zhukov, M. V. Maximov, E. I. Moiseev, I. I. Shostak, A. M. Nadtochiy, Y. V. Kudashova, A. A. Lipovskii, M. M. Kulagina, and S. I. Troshkov, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 709 (2015).
[Crossref]

Kulagina, M. M.

N. V. Kryzhanovskaya, A. E. Zhukov, M. V. Maximov, E. I. Moiseev, I. I. Shostak, A. M. Nadtochiy, Y. V. Kudashova, A. A. Lipovskii, M. M. Kulagina, and S. I. Troshkov, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 709 (2015).
[Crossref]

Kuo, Y.

Lau, K. M.

Y. Wan, Q. Li, Y. Geng, B. Shi, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett 107, 081106 (2015).
[Crossref]

Q. Li, K. W. Ng, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett. 106, 072105 (2015).
[Crossref]

Lee, A.

Lee, K. H.

A. C. Tamboli, E. D. Haberer, R. Sharma, K. H. Lee, S. Nakamura, and E. L. Hu, Nat. Photonics 1, 61 (2007).
[Crossref]

Li, C.

A. E. Lim, J. Song, Q. Fang, C. Li, X. Tu, N. Duan, K. K. Chen, R. P. Tern, and T. Y. Liow, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 20, 405 (2014).
[Crossref]

Li, Q.

Q. Li, K. W. Ng, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett. 106, 072105 (2015).
[Crossref]

Y. Wan, Q. Li, Y. Geng, B. Shi, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett 107, 081106 (2015).
[Crossref]

Liang, D.

Lim, A. E.

A. E. Lim, J. Song, Q. Fang, C. Li, X. Tu, N. Duan, K. K. Chen, R. P. Tern, and T. Y. Liow, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 20, 405 (2014).
[Crossref]

Lin, D.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Liow, T. Y.

A. E. Lim, J. Song, Q. Fang, C. Li, X. Tu, N. Duan, K. K. Chen, R. P. Tern, and T. Y. Liow, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 20, 405 (2014).
[Crossref]

Lipovskii, A. A.

N. V. Kryzhanovskaya, A. E. Zhukov, M. V. Maximov, E. I. Moiseev, I. I. Shostak, A. M. Nadtochiy, Y. V. Kudashova, A. A. Lipovskii, M. M. Kulagina, and S. I. Troshkov, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 709 (2015).
[Crossref]

Liu, A. W. K.

A. Y. Liu, C. Zhang, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, J. Vac. Sci. Technol. B 32, 02C108 (2014).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, J. Norman, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 104, 041104 (2014).
[Crossref]

Liu, A. Y.

A. Y. Liu, R. W. Herrick, O. Ueda, P. M. Petroff, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 690 (2015).
[Crossref]

A. Y. Liu, S. Srinivasan, J. Norman, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Photon. Res. 3, B1 (2015).
[Crossref]

W. W. Chow, A. Y. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 107, 171106 (2015).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, J. Vac. Sci. Technol. B 32, 02C108 (2014).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, J. Norman, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 104, 041104 (2014).
[Crossref]

J. E. Bowers, J. T. Bovington, A. Y. Liu, and A. C. Gossard, Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2014).

Liu, H.

S. M. Chen, M. C. Tang, J. Wu, Q. Jiang, V. G. Dorogan, M. Benamara, Y. I. Mazur, G. J. Salamo, A. J. Seeds, and H. Liu, Electron. Lett. 50, 1467 (2014).
[Crossref]

A. Lee, Q. Jiang, M. Tang, A. Seeds, and H. Liu, Opt. Express 20, 22181 (2012).
[Crossref]

H. Liu, T. Wang, Q. Jiang, R. Hogg, F. Tutu, F. Pozzi, and A. Seeds, Nat. Photonics 5, 416 (2011).
[Crossref]

Liu, J.

J. Michel, J. Liu, and L. C. Kimerling, Nat. Photonics 4, 527 (2010).
[Crossref]

Lubyshev, D.

A. Y. Liu, C. Zhang, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, J. Vac. Sci. Technol. B 32, 02C108 (2014).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, J. Norman, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 104, 041104 (2014).
[Crossref]

Maksimov, M. V.

A. E. Zhukov, M. V. Maksimov, and A. R. Kovsh, Semiconductors 46, 1249 (2012).

Mashanovich, G.

G. T. Reed, G. Mashanovich, F. Y. Gardes, and D. J. Thomson, Nat. Photonics 4, 518 (2010).
[Crossref]

Maximov, M. V.

N. V. Kryzhanovskaya, A. E. Zhukov, M. V. Maximov, E. I. Moiseev, I. I. Shostak, A. M. Nadtochiy, Y. V. Kudashova, A. A. Lipovskii, M. M. Kulagina, and S. I. Troshkov, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 709 (2015).
[Crossref]

Mazur, Y. I.

S. M. Chen, M. C. Tang, J. Wu, Q. Jiang, V. G. Dorogan, M. Benamara, Y. I. Mazur, G. J. Salamo, A. J. Seeds, and H. Liu, Electron. Lett. 50, 1467 (2014).
[Crossref]

Merckling, C.

Z. Wang, B. Tian, M. Pantouvaki, W. Guo, P. Absil, J. V. Campenhout, C. Merckling, and D. V. Thourhout, Nat. Photonics 9, 837 (2015).
[Crossref]

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Mi, Z.

J. Yang, P. Bhattacharya, and Z. Mi, IEEE Trans. Electron. Devices 54, 2849 (2007).
[Crossref]

Michel, J.

Z. Zhou, B. Yin, and J. Michel, Light: Sci. Appl. 4, e358 (2015).
[Crossref]

J. Michel, J. Liu, and L. C. Kimerling, Nat. Photonics 4, 527 (2010).
[Crossref]

Milenin, A.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Mitard, J.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Moiseev, E. I.

N. V. Kryzhanovskaya, A. E. Zhukov, M. V. Maximov, E. I. Moiseev, I. I. Shostak, A. M. Nadtochiy, Y. V. Kudashova, A. A. Lipovskii, M. M. Kulagina, and S. I. Troshkov, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 709 (2015).
[Crossref]

Nadtochiy, A. M.

N. V. Kryzhanovskaya, A. E. Zhukov, M. V. Maximov, E. I. Moiseev, I. I. Shostak, A. M. Nadtochiy, Y. V. Kudashova, A. A. Lipovskii, M. M. Kulagina, and S. I. Troshkov, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 709 (2015).
[Crossref]

Nakamura, S.

A. C. Tamboli, E. D. Haberer, R. Sharma, K. H. Lee, S. Nakamura, and E. L. Hu, Nat. Photonics 1, 61 (2007).
[Crossref]

Ng, K. W.

Q. Li, K. W. Ng, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett. 106, 072105 (2015).
[Crossref]

Nishioka, M.

D. Bordel, D. Guimard, M. Rajesh, M. Nishioka, E. Augendre, L. Clavelier, and Y. Arakawa, Appl. Phys. Lett. 96, 043101 (2010).
[Crossref]

Niu, N.

A. Woolf, T. Puchtler, I. Aharonovich, T. Zhu, N. Niu, D. Wang, R. Oliver, and E. L. Hu, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 111, 14042 (2014).
[Crossref]

Norman, J.

A. Y. Liu, S. Srinivasan, J. Norman, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Photon. Res. 3, B1 (2015).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, J. Norman, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 104, 041104 (2014).
[Crossref]

Nyns, L.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Okumura, T.

Oliver, R.

A. Woolf, T. Puchtler, I. Aharonovich, T. Zhu, N. Niu, D. Wang, R. Oliver, and E. L. Hu, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 111, 14042 (2014).
[Crossref]

Ong, P.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Pantouvaki, M.

Z. Wang, B. Tian, M. Pantouvaki, W. Guo, P. Absil, J. V. Campenhout, C. Merckling, and D. V. Thourhout, Nat. Photonics 9, 837 (2015).
[Crossref]

Petroff, P. M.

A. Y. Liu, R. W. Herrick, O. Ueda, P. M. Petroff, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 690 (2015).
[Crossref]

Pourghaderi, A.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Pozzi, F.

H. Liu, T. Wang, Q. Jiang, R. Hogg, F. Tutu, F. Pozzi, and A. Seeds, Nat. Photonics 5, 416 (2011).
[Crossref]

Puchtler, T.

A. Woolf, T. Puchtler, I. Aharonovich, T. Zhu, N. Niu, D. Wang, R. Oliver, and E. L. Hu, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 111, 14042 (2014).
[Crossref]

Rajesh, M.

D. Bordel, D. Guimard, M. Rajesh, M. Nishioka, E. Augendre, L. Clavelier, and Y. Arakawa, Appl. Phys. Lett. 96, 043101 (2010).
[Crossref]

Reed, G. T.

G. T. Reed, G. Mashanovich, F. Y. Gardes, and D. J. Thomson, Nat. Photonics 4, 518 (2010).
[Crossref]

Richard, O.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Salamo, G. J.

S. M. Chen, M. C. Tang, J. Wu, Q. Jiang, V. G. Dorogan, M. Benamara, Y. I. Mazur, G. J. Salamo, A. J. Seeds, and H. Liu, Electron. Lett. 50, 1467 (2014).
[Crossref]

Sebaai, F.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Seeds, A.

A. Lee, Q. Jiang, M. Tang, A. Seeds, and H. Liu, Opt. Express 20, 22181 (2012).
[Crossref]

H. Liu, T. Wang, Q. Jiang, R. Hogg, F. Tutu, F. Pozzi, and A. Seeds, Nat. Photonics 5, 416 (2011).
[Crossref]

Seeds, A. J.

S. M. Chen, M. C. Tang, J. Wu, Q. Jiang, V. G. Dorogan, M. Benamara, Y. I. Mazur, G. J. Salamo, A. J. Seeds, and H. Liu, Electron. Lett. 50, 1467 (2014).
[Crossref]

Sekaric, L.

F. Xia, L. Sekaric, and Y. Vlasov, Nat. Photonics 1, 65 (2007).
[Crossref]

Sharma, R.

A. C. Tamboli, E. D. Haberer, R. Sharma, K. H. Lee, S. Nakamura, and E. L. Hu, Nat. Photonics 1, 61 (2007).
[Crossref]

Shi, B.

Y. Wan, Q. Li, Y. Geng, B. Shi, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett 107, 081106 (2015).
[Crossref]

Shostak, I. I.

N. V. Kryzhanovskaya, A. E. Zhukov, M. V. Maximov, E. I. Moiseev, I. I. Shostak, A. M. Nadtochiy, Y. V. Kudashova, A. A. Lipovskii, M. M. Kulagina, and S. I. Troshkov, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 709 (2015).
[Crossref]

Snyder, A.

A. Y. Liu, C. Zhang, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, J. Vac. Sci. Technol. B 32, 02C108 (2014).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, J. Norman, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 104, 041104 (2014).
[Crossref]

Song, J.

A. E. Lim, J. Song, Q. Fang, C. Li, X. Tu, N. Duan, K. K. Chen, R. P. Tern, and T. Y. Liow, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 20, 405 (2014).
[Crossref]

Spencer, D. T.

Srinivasan, S.

Sugawara, M.

M. Sugawara and M. Usami, Nat. Photonics 3, 30 (2009).
[Crossref]

Tamboli, A. C.

A. C. Tamboli, E. D. Haberer, R. Sharma, K. H. Lee, S. Nakamura, and E. L. Hu, Nat. Photonics 1, 61 (2007).
[Crossref]

Tang, M.

Tang, M. C.

S. M. Chen, M. C. Tang, J. Wu, Q. Jiang, V. G. Dorogan, M. Benamara, Y. I. Mazur, G. J. Salamo, A. J. Seeds, and H. Liu, Electron. Lett. 50, 1467 (2014).
[Crossref]

Tern, R. P.

A. E. Lim, J. Song, Q. Fang, C. Li, X. Tu, N. Duan, K. K. Chen, R. P. Tern, and T. Y. Liow, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 20, 405 (2014).
[Crossref]

Teugels, L.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Thean, A. V.-Y.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Thomson, D. J.

G. T. Reed, G. Mashanovich, F. Y. Gardes, and D. J. Thomson, Nat. Photonics 4, 518 (2010).
[Crossref]

Thourhout, D. V.

Z. Wang, B. Tian, M. Pantouvaki, W. Guo, P. Absil, J. V. Campenhout, C. Merckling, and D. V. Thourhout, Nat. Photonics 9, 837 (2015).
[Crossref]

Tian, B.

Z. Wang, B. Tian, M. Pantouvaki, W. Guo, P. Absil, J. V. Campenhout, C. Merckling, and D. V. Thourhout, Nat. Photonics 9, 837 (2015).
[Crossref]

Troshkov, S. I.

N. V. Kryzhanovskaya, A. E. Zhukov, M. V. Maximov, E. I. Moiseev, I. I. Shostak, A. M. Nadtochiy, Y. V. Kudashova, A. A. Lipovskii, M. M. Kulagina, and S. I. Troshkov, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 709 (2015).
[Crossref]

Tsvetanova, D.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Tu, X.

A. E. Lim, J. Song, Q. Fang, C. Li, X. Tu, N. Duan, K. K. Chen, R. P. Tern, and T. Y. Liow, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 20, 405 (2014).
[Crossref]

Tutu, F.

H. Liu, T. Wang, Q. Jiang, R. Hogg, F. Tutu, F. Pozzi, and A. Seeds, Nat. Photonics 5, 416 (2011).
[Crossref]

Ueda, O.

A. Y. Liu, R. W. Herrick, O. Ueda, P. M. Petroff, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 690 (2015).
[Crossref]

Usami, M.

M. Sugawara and M. Usami, Nat. Photonics 3, 30 (2009).
[Crossref]

Vahala, K. J.

K. J. Vahala, Nature 424, 839 (2003).
[Crossref]

van Dorp, D. H.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Vandervorst, W.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Vlasov, Y.

F. Xia, L. Sekaric, and Y. Vlasov, Nat. Photonics 1, 65 (2007).
[Crossref]

Waldron, N.

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Wan, Y.

Y. Wan, Q. Li, Y. Geng, B. Shi, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett 107, 081106 (2015).
[Crossref]

Wang, D.

A. Woolf, T. Puchtler, I. Aharonovich, T. Zhu, N. Niu, D. Wang, R. Oliver, and E. L. Hu, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 111, 14042 (2014).
[Crossref]

Wang, T.

H. Liu, T. Wang, Q. Jiang, R. Hogg, F. Tutu, F. Pozzi, and A. Seeds, Nat. Photonics 5, 416 (2011).
[Crossref]

Wang, Z.

Z. Wang, B. Tian, M. Pantouvaki, W. Guo, P. Absil, J. V. Campenhout, C. Merckling, and D. V. Thourhout, Nat. Photonics 9, 837 (2015).
[Crossref]

Won, R.

R. Won, Nat. Photonics 4, 498 (2010).
[Crossref]

Woolf, A.

A. Woolf, T. Puchtler, I. Aharonovich, T. Zhu, N. Niu, D. Wang, R. Oliver, and E. L. Hu, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 111, 14042 (2014).
[Crossref]

Wu, J.

S. M. Chen, M. C. Tang, J. Wu, Q. Jiang, V. G. Dorogan, M. Benamara, Y. I. Mazur, G. J. Salamo, A. J. Seeds, and H. Liu, Electron. Lett. 50, 1467 (2014).
[Crossref]

Xia, F.

F. Xia, L. Sekaric, and Y. Vlasov, Nat. Photonics 1, 65 (2007).
[Crossref]

Yang, J.

J. Yang, P. Bhattacharya, and Z. Mi, IEEE Trans. Electron. Devices 54, 2849 (2007).
[Crossref]

Yin, B.

Z. Zhou, B. Yin, and J. Michel, Light: Sci. Appl. 4, e358 (2015).
[Crossref]

Zhang, C.

A. Y. Liu, C. Zhang, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, J. Vac. Sci. Technol. B 32, 02C108 (2014).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, J. Norman, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 104, 041104 (2014).
[Crossref]

Zhou, Z.

Z. Zhou, B. Yin, and J. Michel, Light: Sci. Appl. 4, e358 (2015).
[Crossref]

Zhu, T.

A. Woolf, T. Puchtler, I. Aharonovich, T. Zhu, N. Niu, D. Wang, R. Oliver, and E. L. Hu, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 111, 14042 (2014).
[Crossref]

Zhukov, A. E.

N. V. Kryzhanovskaya, A. E. Zhukov, M. V. Maximov, E. I. Moiseev, I. I. Shostak, A. M. Nadtochiy, Y. V. Kudashova, A. A. Lipovskii, M. M. Kulagina, and S. I. Troshkov, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 709 (2015).
[Crossref]

A. E. Zhukov, M. V. Maksimov, and A. R. Kovsh, Semiconductors 46, 1249 (2012).

Appl. Phys. Lett (1)

Y. Wan, Q. Li, Y. Geng, B. Shi, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett 107, 081106 (2015).
[Crossref]

Appl. Phys. Lett. (4)

Q. Li, K. W. Ng, and K. M. Lau, Appl. Phys. Lett. 106, 072105 (2015).
[Crossref]

W. W. Chow, A. Y. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 107, 171106 (2015).
[Crossref]

D. Bordel, D. Guimard, M. Rajesh, M. Nishioka, E. Augendre, L. Clavelier, and Y. Arakawa, Appl. Phys. Lett. 96, 043101 (2010).
[Crossref]

A. Y. Liu, C. Zhang, J. Norman, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, Appl. Phys. Lett. 104, 041104 (2014).
[Crossref]

Electron. Lett. (1)

S. M. Chen, M. C. Tang, J. Wu, Q. Jiang, V. G. Dorogan, M. Benamara, Y. I. Mazur, G. J. Salamo, A. J. Seeds, and H. Liu, Electron. Lett. 50, 1467 (2014).
[Crossref]

IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. (3)

N. V. Kryzhanovskaya, A. E. Zhukov, M. V. Maximov, E. I. Moiseev, I. I. Shostak, A. M. Nadtochiy, Y. V. Kudashova, A. A. Lipovskii, M. M. Kulagina, and S. I. Troshkov, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 709 (2015).
[Crossref]

A. Y. Liu, R. W. Herrick, O. Ueda, P. M. Petroff, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 21, 690 (2015).
[Crossref]

A. E. Lim, J. Song, Q. Fang, C. Li, X. Tu, N. Duan, K. K. Chen, R. P. Tern, and T. Y. Liow, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 20, 405 (2014).
[Crossref]

IEEE Trans. Electron. Devices (1)

J. Yang, P. Bhattacharya, and Z. Mi, IEEE Trans. Electron. Devices 54, 2849 (2007).
[Crossref]

J. Vac. Sci. Technol. B (1)

A. Y. Liu, C. Zhang, A. Snyder, D. Lubyshev, J. M. Fastenau, A. W. K. Liu, A. C. Gossard, and J. E. Bowers, J. Vac. Sci. Technol. B 32, 02C108 (2014).
[Crossref]

Light: Sci. Appl. (1)

Z. Zhou, B. Yin, and J. Michel, Light: Sci. Appl. 4, e358 (2015).
[Crossref]

Nat. Photonics (9)

R. Won, Nat. Photonics 4, 498 (2010).
[Crossref]

D. Liang and J. E. Bowers, Nat. Photonics 4, 511 (2010).
[Crossref]

G. T. Reed, G. Mashanovich, F. Y. Gardes, and D. J. Thomson, Nat. Photonics 4, 518 (2010).
[Crossref]

J. Michel, J. Liu, and L. C. Kimerling, Nat. Photonics 4, 527 (2010).
[Crossref]

F. Xia, L. Sekaric, and Y. Vlasov, Nat. Photonics 1, 65 (2007).
[Crossref]

M. Sugawara and M. Usami, Nat. Photonics 3, 30 (2009).
[Crossref]

H. Liu, T. Wang, Q. Jiang, R. Hogg, F. Tutu, F. Pozzi, and A. Seeds, Nat. Photonics 5, 416 (2011).
[Crossref]

A. C. Tamboli, E. D. Haberer, R. Sharma, K. H. Lee, S. Nakamura, and E. L. Hu, Nat. Photonics 1, 61 (2007).
[Crossref]

Z. Wang, B. Tian, M. Pantouvaki, W. Guo, P. Absil, J. V. Campenhout, C. Merckling, and D. V. Thourhout, Nat. Photonics 9, 837 (2015).
[Crossref]

Nature (2)

J. A. del Alamo, Nature 479, 317 (2011).
[Crossref]

K. J. Vahala, Nature 424, 839 (2003).
[Crossref]

Opt. Express (2)

Photon. Res. (1)

Proc. Natl. Acad. Sci. USA (1)

A. Woolf, T. Puchtler, I. Aharonovich, T. Zhu, N. Niu, D. Wang, R. Oliver, and E. L. Hu, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 111, 14042 (2014).
[Crossref]

Semiconductors (1)

A. E. Zhukov, M. V. Maksimov, and A. R. Kovsh, Semiconductors 46, 1249 (2012).

Other (2)

J. E. Bowers, J. T. Bovington, A. Y. Liu, and A. C. Gossard, Optical Fiber Communication Conference (Optical Society of America, 2014).

N. Waldron, C. Merckling, W. Guo, P. Ong, L. Teugels, S. Ansar, D. Tsvetanova, F. Sebaai, D. H. van Dorp, A. Milenin, D. Lin, L. Nyns, J. Mitard, A. Pourghaderi, B. Dohaurd, O. Richard, H. Bender, G. Boccardi, M. Caymax, M. Heyns, W. Vandervorst, K. Barla, N. Collaert, and A. V.-Y. Thean, IEEE Symposium on VLSI Technology: Digest of Technical Papers (2014), pp. 1–2.

Cited By

OSA participates in Crossref's Cited-By Linking service. Citing articles from OSA journals and other participating publishers are listed here.

Alert me when this article is cited.


Figures (4)

Fig. 1.
Fig. 1. Epitaxial InAs QDs micro-disks on GoVS substrate. (a) Procedure of growing antiphase-domain-free GaAs thin films out of a highly ordered array of planar GaAs nanowires on silicon substrates with diamond-shaped pockets. (b) AFM image of approximately 1 μm coalesced GaAs thin film grown on the nanowire arrays. The vertical bar is 25 nm. (c) Schematic of the as-grown structure of micro-disk lasers. (d)–(f) Cross-sectional TEM images of the V-grooved structure, showing stacking faults (indicated by the blue arrows) trapped by the Si pockets. (g) Room temperature photoluminescence spectra of the as grown structures on the GoVS template and a GaAs substrate at a pump power density of 4.7    kW / cm 2 .
Fig. 2.
Fig. 2. SEM images of a 4 μm fabricated micro-disk. (a) 90° tilted view of the disk, showing vertical profile. (b) 70° tilted view of the disk, revealing smooth sidewall. (c) Top-down view of the disk, showing circularity.
Fig. 3.
Fig. 3. Laser operation of a 4 μm diameter micro-disk on GoVS. (a) PL spectra taken at increasing pump powers. (b) Sub-threshold spectrum (165 μW). The symbols represent measured data; the blue line is a fit to the broad InAs QDs photoluminescence spectrum background; and the red line is a fit to the narrow cavity emission. (c) High-resolution spectrum at 165 μW. The symbols represent measured data; the red line is a fitting sum of the measured data using bi-Lorentzian curves; and the green line is a fit to the narrow cavity emission. (d) Above-threshold spectrum (248 μW). The symbols represent measured data; the blue line is a fit to the broad InAs QDs photoluminescence spectrum background; and the red line is a fit to the narrow cavity emission. (e) Integrated photoluminescence intensity of the dominant mode as a function of pump power in the log-log scale.
Fig. 4.
Fig. 4. Statistical analysis of lasing behavior of micro-disks fabricated on GoVS and GaAs. (a), (b) Histogram of the lasing wavelength for each measured device on GoVS and GaAs, respectively. The average lasing threshold of the devices within each histogram bar is denoted by the number displayed on top of it. The normalized photoluminescence spectrum of the unprocessed sample is denoted in red. (c) Lasing threshold is plotted as a function of a lasing wavelength for micro-disks fabricated on GoVS (red stars) and GaAs (black spheres).

Metrics