Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure
A.R. Khorsand, R. Sobierajski, E. Louis, S. Bruijn, E.D. van Hattum, R.W.E. van de Kruijs, M. Jurek, D. Klinger, J.B. Pelka, L. Juha, T. Burian, J. Chalupsky, J. Cihelka, V. Hajkova, L. Vysin, U. Jastrow, N. Stojanovic, S. Toleikis, H. Wabnitz, K. Tiedtke, K. Sokolowski-Tinten, U. Shymanovich, J. Krzywinski, S. Hau-Riege, R. London, A. Gleeson, E.M. Gullikson, and F. Bijkerk
Opt. Express 18(2), 700-712 (2010) View:
HTML |
PDF