Tolerance analysis of multilayer diffractive optics based on polychromatic integral diffraction efficiency

PIDE for MLDOEs for Different Relative Periodic Width Errors (${\mathsf{\epsilon }}_{\mathsf{1}}={\mathsf{\epsilon }}_{\mathsf{2}}=\mathsf{0.1}$)

PIDE for MLDOEs for Different Relative Height Errors (${\mathsf{\xi }}_{\mathsf{1}}={\mathsf{\xi }}_{\mathsf{2}}=\mathsf{0.1}$)

Diffraction Efficiency for MLDOEs for Manufacturing Errors (${\mathsf{\epsilon }}_{\mathsf{1}}={\mathsf{\epsilon }}_{\mathsf{2}}=\mathsf{0.1}$)

Diffraction Efficiency for MLDOEs for Periodic Width Errors (${\mathsf{\epsilon }}_{\mathsf{1}}={\mathsf{\epsilon }}_{\mathsf{2}}=\mathsf{0.05}$)

Diffraction Efficiency for MLDOEs for Manufacturing Errors (${\mathsf{\xi }}_{\mathsf{1}}={\mathsf{\xi }}_{\mathsf{2}}=\mathsf{0.1}$)

Diffraction Efficiency for MLDOEs for Manufacturing Errors (${\mathsf{\xi }}_{\mathsf{1}}={\mathsf{\xi }}_{\mathsf{2}}=\mathsf{0.05}$)

Table 1.

PIDE for MLDOEs for Different Relative Periodic Width Errors (${\mathsf{\epsilon }}_{\mathsf{1}}={\mathsf{\epsilon }}_{\mathsf{2}}=\mathsf{0.1}$)

Table 2.

PIDE for MLDOEs for Different Relative Height Errors (${\mathsf{\xi }}_{\mathsf{1}}={\mathsf{\xi }}_{\mathsf{2}}=\mathsf{0.1}$)

Table 3.

Diffraction Efficiency for MLDOEs for Manufacturing Errors (${\mathsf{\epsilon }}_{\mathsf{1}}={\mathsf{\epsilon }}_{\mathsf{2}}=\mathsf{0.1}$)

Table 4.

Diffraction Efficiency for MLDOEs for Periodic Width Errors (${\mathsf{\epsilon }}_{\mathsf{1}}={\mathsf{\epsilon }}_{\mathsf{2}}=\mathsf{0.05}$)

Table 5.

Diffraction Efficiency for MLDOEs for Manufacturing Errors (${\mathsf{\xi }}_{\mathsf{1}}={\mathsf{\xi }}_{\mathsf{2}}=\mathsf{0.1}$)

Table 6.

Diffraction Efficiency for MLDOEs for Manufacturing Errors (${\mathsf{\xi }}_{\mathsf{1}}={\mathsf{\xi }}_{\mathsf{2}}=\mathsf{0.05}$)